Iyokuputira vacuumMaitiro emuchina akakamurwa kuita: kuputira kwevacuum evaporation, kuputira kwevacuum sputtering uye kuputira kwevacuum ion.
1, Vacuum kwemvura unhani
Pasi pemamiriro evacuum, gadzira zvinhu zvakapwanyika, zvakaita sesimbi, simbi, nezvimwewo, wozozviisa pamusoro pe substrate, nzira ye evaporation coating inowanzo shandiswa kupisa, wozobva waisa maerekitironi danda re coating, wozozvipisa kuita gasi, wozozviisa pamusoro pe substrate, kare, vacuum vapor deposition ndiyo tekinoroji yekare yakashandiswa muPVD method.
2, Kuputira jira
Gasi rinobuda pachena pasi pemamiriro evacuum akazadzwa ne (Ar). Panguva ino maatomu e argon (Ar) anoisa ion mu nitrogen ions (Ar), maion anokurumidziswa nesimba remagetsi, uye anoputira chinangwa che cathode chakagadzirwa nezvinhu zvekuputira, chinangwa chinobuda pachena uye chinoiswa pamusoro pe substrate. Maion ezviitiko mu sputter coating, anowanzo kuwanikwa nekubuda pachena, ari pakati pe10-2pa kusvika 10Pa, Saka zvidimbu zvinoputsika zviri nyore kuroverana nemamorekuru egasi ari mu vacuum chamber paanenge achibhururuka akananga substrate, zvichiita kuti kufamba kuenderane nenzira isina kurongeka uye firimu rakaiswa rive nyore kuva rakafanana.
3, Ion unhani
Pasi pemamiriro evacuum, Pasi pemamiriro evacuum, panoshandiswa imwe nzira yekuisa plasma ionisation kuti iite maatomu ecoating material ionis zvishoma. Panguva imwe chete, maatomu akawanda asina simba rakawanda anogadzirwa, ayo anorerekera zvisina kunaka pa substrate. Nenzira iyi, maatomu anoiswa pamusoro pe substrate pasi pe deep negative bias kuti aumbe firimu rakatetepa.
Nguva yekutumira: Kurume-23-2023