Thesekoahelo sa lephakaMokhoa oa mochini o arotsoe ka: ho roala ka vacuum evaporation, ho roala ka vacuum sputtering le ho roala ka vacuum ion.
1, lephaka mouoane barbotage
Tlas'a boemo ba vacuum cleaner, etsa hore thepa e fetohe mouoane, joalo ka tšepe, motsoako oa tšepe, jj. ebe u li beha holim'a substrate, mokhoa oa ho roala mouoane hangata o sebelisa ho futhumatsa ho hanyetsa, ebe ho phatloha ha thepa ea ho roala ka mahlaseli a elektrone, ho etsa hore e fetohe mouoane karolong ea khase, ebe e e beha holim'a substrate, historing, ho kenngoa ha mouoane ka vacuum ke theknoloji ea pejana e sebelisitsoeng mokhoeng oa PVD.
2, ho roala ka ho phunya
Khase e kenngoa ka har'a ho ntšoa ha khanya tlas'a maemo a vacuum a tletseng (Ar) Nakong ena liathomo tsa argon (Ar) li kenya ion ho li-ion tsa naetrojene (Ar), li-ion li potlakisoa ke matla a tšimo ea motlakase, 'me li hlasela sepheo sa cathode se entsoeng ka thepa ea ho roala, sepheo se tla ntšoa 'me se beoa holim'a substrate. Li-ion tse etsahalang ka har'a ho roala ha sputter, ka kakaretso li fumanoang ka ho ntšoa ha khanya, li pakeng tsa 10-2pa le 10Pa, Kahoo likaroloana tse sputtered li bonolo ho thulana le limolek'hule tsa khase ka kamoreng ea vacuum ha li fofa ho ea substrate, e leng se etsang hore tsela ea motsamao e be e sa reroang 'me filimi e behiloeng e be bonolo ho lekana.
3, Ion sekoahelo
Tlas'a maemo a vacuum, Tlas'a boemo ba vacuum, Ho sebelisitsoe mokhoa o itseng oa ionization ea plasma ho ionise ka karolo ea liathomo tsa thepa ea ho roala hore e be li-ion. Ka nako e ts'oanang, liathomo tse ngata tse se nang lehlakore tse nang le matla a mangata lia hlahisoa, tse sekametseng hampe holim'a substrate. Ka tsela ena, li-ion li beoa holim'a substrate tlas'a leeme le tebileng la negative ho etsa filimi e tšesaane.
Nako ea poso: Hlakubele-23-2023