വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ പ്രക്രിയകൾ എന്തൊക്കെയാണ്?പ്രവർത്തന തത്വം എന്താണ്?

ദിവാക്വം കോട്ടിംഗ്മെഷീൻ പ്രക്രിയയെ തിരിച്ചിരിക്കുന്നു: വാക്വം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ്, വാക്വം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ്, വാക്വം അയോൺ കോട്ടിംഗ്.

1, വാക്വം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ്

വാക്വം അവസ്ഥയിൽ, ലോഹം, ലോഹ അലോയ് മുതലായവ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുക, തുടർന്ന് അവയെ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുക, ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ് രീതി പലപ്പോഴും പ്രതിരോധ ചൂടാക്കൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു, തുടർന്ന് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബോംബിംഗ്, അവ നിർമ്മിക്കുക. വാതക ഘട്ടത്തിലേക്ക് ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയും, പിന്നീട് അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യുക, ചരിത്രപരമായി, വാക്വം നീരാവി നിക്ഷേപം പിവിഡി രീതിയിൽ നേരത്തെ ഉപയോഗിച്ചിരുന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്.

2, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ്

വാതകം (Ar) നിറഞ്ഞ വാക്വം അവസ്ഥയിൽ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിന് വിധേയമാകുന്നു, ഈ നിമിഷത്തിൽ ആർഗോൺ (Ar) ആറ്റങ്ങൾ നൈട്രജൻ അയോണുകളായി (Ar) അയോണുകൾ മാറുന്നു, വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ ശക്തിയാൽ അയോണുകൾ ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും കാഥോഡ് ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് ബോംബെറിയുകയും ചെയ്യുന്നു. കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്, ലക്ഷ്യം പുറന്തള്ളുകയും അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ചെയ്യും, സാധാരണയായി ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് വഴി ലഭിക്കുന്ന സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിലെ സംഭവ അയോണുകൾ 10-2pa മുതൽ 10Pa വരെയാണ്, അതിനാൽ സ്‌പട്ടർ ചെയ്ത കണങ്ങൾ കൂട്ടിമുട്ടാൻ എളുപ്പമാണ്. അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് പറക്കുമ്പോൾ വാക്വം ചേമ്പറിലെ വാതക തന്മാത്രകൾ ഉപയോഗിച്ച്, ചലന ദിശ ക്രമരഹിതമാക്കുകയും നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിനെ ഏകീകൃതമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

3, അയൺ കോട്ടിംഗ്

വാക്വം അവസ്ഥയിൽ, വാക്വം അവസ്ഥയിൽ, കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ആറ്റങ്ങളെ അയോണുകളാക്കി ഭാഗികമായി അയോണൈസ് ചെയ്യാൻ ഒരു നിശ്ചിത പ്ലാസ്മ അയോണൈസേഷൻ ടെക്നിക് ഉപയോഗിച്ചു. അതേ സമയം ധാരാളം ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ന്യൂട്രൽ ആറ്റങ്ങൾ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, അവ അടിവസ്ത്രത്തിൽ പ്രതികൂലമായി പക്ഷപാതം കാണിക്കുന്നു. ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ആഴത്തിലുള്ള നെഗറ്റീവ് ബയസിന് കീഴിൽ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു.