Tëveshje me vakumProcesi i makinës ndahet në: veshja e avullimit me vakum, veshja me spërkatje me vakum dhe veshja e joneve me vakum.
1, Veshje avullimi me vakum
Në kushtet e vakumit, bëjeni materialin të avullohet, të tilla si metali, aliazhi i metalit, etj. më pas depozitoni ato në sipërfaqen e nënshtresës, metoda e veshjes së avullimit është shpesh përdorimi i ngrohjes me rezistencë, dhe më pas bombardimi me rreze elektronike të materialit të veshjes, bëjini ato avullohet në fazën e gazit, pastaj depozitohet në sipërfaqen e nënshtresës, historikisht depozitimi i avullit me vakum është teknologjia e mëparshme e përdorur në metodën PVD.
2, Veshje me spërkatje
Gazi i nënshtrohet një shkarkimi shkëlqimi në kushte vakuumi të mbushur me (Ar) Në këtë moment, atomet e argonit (Ar) në jonet e azotit (Ar), jonet përshpejtohen nga forca e fushës elektrike dhe bombardojnë objektivin katodë i cili është bërë nga materiali i veshjes, objektivi do të spërkatet jashtë dhe do të depozitohet në sipërfaqen e nënshtresës Jonet e incidentit në veshjen me spërkatje, përgjithësisht të përftuara nga shkarkimi i shkëlqimit, janë në intervalin nga 10-2pa deri në 10Pa; Kështu që grimcat e spërkatura janë të lehta për t'u përplasur me molekulat e gazit në dhomën e vakumit kur fluturojnë drejt nënshtresës, duke e bërë drejtimin e lëvizjes të rastësishëm dhe filmin e depozituar të lehtë të jetë uniform.
3, Veshje jonike
Në kushtet e vakumit, në kushte vakumi, përdori një teknikë të caktuar të jonizimit të plazmës për të jonizuar pjesërisht atomet e materialit të veshjes në jone. Në të njëjtën kohë prodhohen shumë atome neutrale me energji të lartë, të cilët janë të njëanshëm negativisht në substrat. Në këtë mënyrë, jonet depozitohen në sipërfaqen e nënshtresës nën një anim të thellë negativ për të formuar një shtresë të hollë.
Koha e postimit: Mar-23-2023