Дарпӯшиши вакуумӣРаванди мошинсозӣ ба инҳо тақсим мешавад: пӯшиши бухоршавии вакуумӣ, пӯшиши пошидани вакуумӣ ва пӯшиши ионии вакуумӣ.
1, Пӯшиши бухоршавии вакуумӣ
Дар шароити вакуум, маводро бухор кунед, ба монанди металл, хӯлаи металлӣ ва ғайра, сипас онҳоро дар сатҳи субстрат ҷойгир кунед. Усули пӯшонидани бухоршавӣ аксар вақт гармкунии муқовимат ва сипас бомбаборони нури электронии маводи пӯшишро истифода мебарад, онҳоро ба фазаи газӣ бухор кунед ва сипас дар сатҳи субстрат ҷойгир кунед. Аз ҷиҳати таърихӣ, ҷойгиркунии буғи вакуумӣ технологияи қаблӣ дар усули PVD мебошад.
2, Пӯшиши пошидани
Газ дар шароити пур аз вакууми (Ar) ба разряди дурахшон дучор мешавад. Дар айни замон, атомҳои аргон (Ar) ба ионҳои нитроген (Ar) табдил меёбанд. Ионҳо бо қувваи майдони электрикӣ суръат мегиранд ва ҳадафи катодро, ки аз маводи рӯйпӯш сохта шудааст, бомбаборон мекунанд. Ҳадаф пошида мешавад ва дар сатҳи субстрат ҷойгир карда мешавад. Ионҳои афтида дар рӯйпӯши пошидан, ки одатан бо роҳи разряди дурахшон ба даст оварда мешаванд, дар диапазони аз 10-2pa то 10Pa мебошанд. Аз ин рӯ, зарраҳои пошидашуда ҳангоми парвоз ба сӯи субстрат ба осонӣ бо молекулаҳои газ дар камераи вакуумӣ бархӯрд мекунанд, ки самти ҳаракатро тасодуфӣ ва плёнкаи гузошташударо ба осонӣ яксон мекунад.
3, пӯшиши ионӣ
Дар шароити вакуум, дар шароити вакуум, як усули муайяни ионизатсияи плазма барои қисман ион кардани атомҳои маводи рӯйпӯш ба ионҳо истифода шудааст. Дар айни замон, бисёр атомҳои бетарафи дорои энергияи баланд истеҳсол мешаванд, ки ба субстрат таъсири манфӣ мерасонанд. Бо ин роҳ, ионҳо дар сатҳи субстрат таҳти таъсири манфии амиқ ҷойгир карда мешаванд, то як плёнкаи тунукро ташкил диҳанд.
Вақти нашр: 23 марти соли 2023