Thevakuum örtükmaşyn prosesi aşakdakylara bölünýär: wakuum bugarmak örtügi, wakuum tüýdük örtügi we wakuum ion örtügi.
1 uc Wakuum bugarmak örtügi
Wakuum şertinde materialy bugardyň metal, metal, metal garyndysy we ş.m. soňra substratyň üstünde goýuň, bugarma örtügi usuly köplenç garşylyk ýyladyşyny ulanýar, soňra örtük materialynyň elektron şöhlesini bombalap, gaz fazasyna öwürýär, soňra substratyň üstünde goýuň, taryhy taýdan wakuum buglarynyň çökmegi PVD usulynda ulanylýar.
2 、 Tüýdük örtük
Gaz (Ar) doldurylan vakuum şertlerinde ýalpyldawuk akymlara sezewar edilýär Şu pursatda argon (Ar) atom ionyny azot ionlaryna (Ar) öwürýär, ionlar elektrik meýdanynyň güýji bilen tizlenýär the we örtük materialyndan ýasalan katod nyşanyny bombalaýar, maksat 10-a bölünýär we substratyň üstünde goýulýar. 10Pa ， Şeýlelik bilen, substrata tarap uçanda wakuum kamerasyndaky gaz molekulalary bilen çaknyşmak aňsat, hereket ugruny tötänleýin we goýlan filmiň birmeňzeş bolmagyny aňsatlaşdyrýar.
3 on Ion örtük
Wakuum şertlerinde, wakuum şertinde örtük materialy atomlaryny ionlara bölekleýin ionlaşdyrmak üçin belli bir plazma ionizasiýa usuly ulanyldy. Şol bir wagtyň özünde substrata negatiw tarapdan köp energiýa bitarap atomlar öndürilýär. Şeýlelik bilen, ionlar inçe film döretmek üçin substratyň üstünde goýulýar.
Iş wagty: Mart-23-2023