Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии таркибии пошидани магнетронӣ ва рӯйпӯши ионҳои катодӣ дар алоҳидагӣ ва ҳамзамон кор карда метавонад; плёнкаи металлии соф, плёнкаи металлй ё плёнкаи композитиро гузоштан ва тайёр кардан мумкин аст; як қабати плёнка ва плёнкаи бисёрқабатаи композитӣ буда метавонад.
Афзалиятҳои он инҳоянд:
Вай на танхо бартарихои руйпушхои гуногуни иониро ба хам мепайвандад ва тайёр кардан ва гузоштани плёнкаи тунукро барои сохахои гуногуни истифода ба назар мегирад, балки инчунин имкон медихад, ки дар як вакт дар як камераи вакуумй плёнкахои бисьёркабатаи монолитй ё плёнкахои композитии бисьёркабата чойгир ва тайёр карда шаванд.
Татбиқи қабатҳои плёнкаи гузошташуда ба таври васеъ истифода мешаванд, технологияҳои он дар шаклҳои гуногун мавҷуданд, ки маъмулан инҳоянд:
(1) Маҷмӯаи технологияи пошидани ионҳои катодӣ ва пошидани ионҳои катодӣ.
Дастгоҳи он ба таври зерин нишон дода шудааст. Ин як таҷҳизоти рӯйпӯши мураккаби ҳадафи магнетрони сутунӣ ва рӯйпӯши ионҳои камони катодӣ мебошад, ки ҳам барои рӯйпӯш кардани плёнкаи мураккаби асбобӣ ва ҳам рӯйпӯши плёнкаи ороишӣ мувофиқ аст. Барои рӯйпӯш кардани асбоб, қабати ионҳои катодӣ аввал барои рӯйпӯши қабати асосӣ истифода мешавад ва сипас ҳадафи магнетрони сутун барои таҳшин кардани нитрид ва дигар қабатҳои филм барои ба даст овардани филми сатҳи баланди асбоби коркард истифода мешавад.
Барои пӯшонидани ороишӣ, филмҳои ороишии TiN ва ZrN-ро аввал бо қабати катодӣ гузоштан мумкин аст ва баъд бо истифода аз ҳадафҳои магнетронӣ бо металл омехта карда мешавад ва таъсири допинг хеле хуб аст.
(2) Маҷмӯи усулҳои печонидани ионҳои дугонаи магнетронӣ ва сутуни катодӣ. Дастгоҳ ба таври зерин нишон дода шудааст. Он технологияи пешрафтаи ҳадафи дугоникро истифода мебарад, вақте ки ду ҳадафи дугоникҳои паҳлӯ ба паҳлӯ ба таъмини нерӯи басомади миёна алоқаманданд, он на танҳо заҳролудшавии ҳадафи пошидани DC, оташ ва дигар камбудиҳоро бартараф мекунад; ва метавонад филми сифатии оксиди Al203, SiO2-ро гузорад, то ки муқовимати оксидшавии қисмҳои рӯйпӯшшуда зиёд ва беҳтар шавад. Ҳадафи сутуни бисёрқабата, ки дар маркази камераи вакуумӣ насб шудааст, маводи мавриди ҳадаф метавонад Ti ва Zr истифода шавад, на танҳо барои нигоҳ доштани бартариҳои суръати баланди диссотсиатсияи бисёркамон, суръати таҳшин, балки инчунин метавонад "қатраҳоро" дар ҷараёни таҳшиншавии ҳавопаймои хурди бисёркамон камон кунад, метавонад сӯрохии пасти плёнкаҳои металлӣ ва плёнкаҳоро омода созад. Агар Al ва Si ҳамчун маводи мавриди ҳадаф барои ҳадафҳои дугоникҳои магнитронии ҳамвор, ки дар канори периферӣ насб карда шудаанд, истифода шаванд, филмҳои металлӣ-керамикии Al203 ё Si0 метавонанд гузошта шаванд ва омода карда шаванд. Илова бар ин, дар канори периферия якчанд ҳавопаймоҳои хурди манбаи бухоршавии чандқабата насб кардан мумкин аст ва маводи мавриди ҳадафи он метавонад Cr ё Ni бошад ва плёнкаҳои металлӣ ва плёнкаҳои композитии бисёрқабатаро гузоштан ва омода кардан мумкин аст. Аз ин рӯ, ин технологияи пӯшиши таркибӣ як технологияи пӯшиши таркибӣ бо барномаҳои гуногун мебошад.
Вақти фиристодан: Ноябр-08-2022