Lisebelisoa tsa ho roala tse kopantsoeng tsa magnetron sputtering le cathodic multi-arc ion coating li ka sebetsa ka thoko le ka nako e le 'ngoe; e ka kenngoa le ho lokisoa filimi e hloekileng ea tšepe, filimi ea tšepe ea tšepe kapa filimi e kopantsoeng; e ka ba lesela le le leng la filimi le filimi e nang le likarolo tse ngata.
Melemo ea eona ka tsela e latelang:
Ha e kopane feela ka melemo ea li-ion tse fapa-fapaneng 'me e nahanela ho lokisetsa le ho beha filimi e tšesaane bakeng sa likarolo tse sa tšoaneng tsa kopo, empa hape e lumella ho beha le ho lokisetsa lifilimi tse ngata tsa lera kapa lifilimi tse ngata tse nang le likarolo tse ngata ka kamoreng e le 'ngoe ea vacuum ka nako e le' ngoe.
Ts'ebeliso ea likhakanyo tsa lifilimi tse kentsoeng li sebelisoa haholo mahlale a eona a mefuta e fapaneng, a tloaelehileng ka tsela e latelang:
(1) Motsoako oa theknoloji e sa lekanang ea magnetron sputtering le cathodic ion plating technology.
Sesebelisoa sa eona se bontšoa ka tsela e latelang. Ke lisebelisoa tsa ho roala tse kopantsoeng tsa magnetron target le planar cathodic arc ion coating, e loketseng ka bobeli ho roala filimi ea motsoako le filimi e khabisitsoeng ea filimi. Bakeng sa ho roala lithulusi, ho sebelisoa cathodic arc ion coating pele bakeng sa ho roala lesela la motheo, 'me joale sepheo sa magnetron se sebelisoa bakeng sa ho beha nitride le lihlopha tse ling tsa filimi ho fumana filimi e holimo ea ho sebetsa ka mokhoa o nepahetseng.
Bakeng sa ho roala mokhabiso, lifilimi tse khabisitsoeng tsa TiN le ZrN li ka kenngoa ka ho roala ha cathodic arc pele, ebe li kenngoa ka tšepe ho sebelisa lipakane tsa magnetron, 'me phello ea doping e ntle haholo.
(2) Motsoako oa mafahla a lifofane tsa magnetron le likholomo tsa cathode arc ion mekhoa ea ho roala. Sesebelisoa se bontšoa ka tsela e latelang. E sebelisoa thekenoloji e tsoetseng pele ea sepheo sa mafahla, ha lipheo tse peli tsa mahlakoreng a mabeli li kopantsoe le motlakase oa maqhubu a mahareng, ha li hlōle feela chefo e lebisitsoeng ea DC sputtering, mollo le litšitiso tse ling; mme e ka kenya filimi ea boleng ba Al203, SiO2 oxide, e le hore khanyetso ea oxidation ea likarolo tse koahetsoeng e eketsehe le ho ntlafala. Columnar multi-arc target e kentsoe bohareng ba kamore ea vacuum, thepa e shebiloeng e ka sebelisoa Ti le Zr, eseng feela ho boloka melemo ea sekhahla sa ho arohana ha li-arc tse ngata, sekhahla sa deposition, empa hape se ka fokotsa "marotholi" ka katleho ts'ebetsong ea sefofane se senyenyane sa li-arc target deposition, se ka kenya le ho lokisa porosity e tlaase ea lifilimi tsa tšepe, lik'hemik'hale. Haeba Al le Si li sebelisoa e le lisebelisoa tse shebiloeng bakeng sa sepheo sa mafahla a magnetron a kentsoeng moeling, lifilimi tsa Al203 kapa Si0 tsa tšepe-ceramic li ka kenngoa le ho lokisoa. Ho phaella moo, lifofane tse ngata tse nyenyane tsa mohloli oa mouoane oa li-arc tse ngata li ka kenngoa moeling, 'me thepa ea eona e lebisitsoeng e ka ba Cr kapa Ni,' me lifilimi tsa tšepe le lifilimi tse nang le likarolo tse ngata li ka kenngoa le ho lokisoa. Ka hona, theknoloji ena ea ho roala e kopantsoeng ke theknoloji ea ho roala e kopantsoeng e nang le lisebelisoa tse ngata.
Nako ea poso: Nov-08-2022