Опрема за композитне премазе магнетронског распршивања и катодног вишелучног јонског премаза може радити одвојено и истовремено; може се наносити и припремати чисти метални филм, метални спојени филм или композитни филм; може бити једнослојни филм и вишеслојни композитни филм.
Његове предности су следеће:
Не само да комбинује предности различитих јонских премаза и узима у обзир припрему и таложење танког филма за различите области примене, већ такође омогућава таложење и припрему вишеслојних монолитних филмова или вишеслојних композитних филмова у истој вакуумској комори за премазивање истовремено.
Примене депонованих филмских слојева су широко коришћене, а технологије долазе у различитим облицима, а типични су следећи:
(1) Једињење неравнотежног магнетронског распршивања и технологије катодног јонског пресвлачења.
Његов уређај је приказан на следећи начин. То је опрема за сложено премазивање помоћу колонске магнетронске мете и планарног катодно-лучног јонског премаза, која је погодна и за премазивање алата сложеним филмом и за премазивање декоративног филма. За премазивање алата, катодно-лучни јонски премаз се прво користи за премазивање основног слоја, а затим се колонска магнетронска мета користи за таложење нитрида и других слојева филма како би се добио високопрецизни филм на површини алата за обраду.
За декоративни премаз, декоративни филмови од TiN и ZrN могу се прво нанети катодним лучним премазом, а затим допирати металом помоћу магнетронских мета, а ефекат допирања је веома добар.
(2) Технике јонског премазивања помоћу двоструког магнетрона и колоне катоде. Уређај је приказан на следећи начин. Користи напредну технологију двоструких мета, када су две двоструке мете једна поред друге повезане на напајање средње фреквенције, не само да се превазилази тровање мете једносмерним распршивањем, ватра и други недостаци; већ се може нанети и филм квалитета оксида Al203, SiO2, тако да се повећава и побољшава отпорност премазаних делова на оксидацију. Код вишеструке мете са стубовима постављене у центру вакуумске коморе, материјал мете може бити Ti и Zr, не само да се одрже предности високе брзине дисоцијације више лукова и брзине наношења, већ се могу ефикасно смањити „капљице“ у процесу вишеструке мете са малим равнима, што омогућава наношење и припрему металних филмова ниске порозности, сложених филмова. Ако се Al и Si користе као материјали мете за двоструке равне магнетронске мете постављене на периферији, могу се нанети и припремити метално-керамички филмови Al203 или Si0. Поред тога, на периферији се може инсталирати више малих равни извора испаравања са више лукова, а циљни материјал може бити Cr или Ni, а могу се депоновати и припремити метални филмови и вишеслојни композитни филмови. Стога је ова технологија композитног премазивања технологија композитног премазивања са вишеструким применама.
Време објаве: 08.11.2022.