I/E/Të/Tëveshje me vakumProcesi i makinës ndahet në: veshje me avullim në vakum, veshje me spërkatje në vakum dhe veshje me jon vakum.
1, Veshje me avullim vakumi
Nën kushtet e vakumit, avulloni materialin, siç është metali, aliazh metali, etj., pastaj depozitojeni në sipërfaqen e substratit. Metoda e veshjes me avullim shpesh përdor ngrohje me rezistencë dhe më pas bombardimin me rreze elektronesh të materialit të veshjes, avullojeni në fazën e gaztë dhe më pas depozitojeni në sipërfaqen e substratit. Historikisht, depozitimi i avullit në vakum është teknologjia më e hershme e përdorur në metodën PVD.
2, Veshje me spërkatje
Gazi i nënshtrohet një shkarkimi shkëlqimi në kushte vakumi të mbushur me (Ar). Në këtë moment, atomet e argonit (Ar) shpërbëhen në jone azoti (Ar). Jonet përshpejtohen nga forca e fushës elektrike dhe bombardojnë objektivin e katodës i cili është bërë nga materiali i veshjes, objektivi do të spërkatet dhe do të depozitohet në sipërfaqen e substratit. Jonet incidente në veshjen e spërkatjes, të marra përgjithësisht nga shkarkimi i shkëlqimit, janë në rangun nga 10-2pa deri në 10Pa. Kështu që grimcat e spërkatura përplasen lehtësisht me molekulat e gazit në dhomën e vakumit kur fluturojnë drejt substratit, duke e bërë drejtimin e lëvizjes të rastësishëm dhe filmin e depozituar të lehtë për t'u bërë uniform.
3, Veshje jonike
Nën kushtet e vakumit, në kushtet e vakumit, përdoret një teknikë e caktuar e jonizimit me plazmë për të jonizuar pjesërisht atomet e materialit të veshjes në jone. Në të njëjtën kohë prodhohen shumë atome neutrale me energji të lartë, të cilat janë të polarizuara negativisht në substrat. Në këtë mënyrë, jonet depozitohen në sipërfaqen e substratit nën një polarizim të thellë negativ për të formuar një film të hollë.
Koha e postimit: 23 Mars 2023