Qalabka daahan isku dhafan ee magnetron sputtering iyo cathodic multi-arc ion daahan si gooni gooni ah iyo isku mar u shaqayn karaa; waa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa filim bir ah oo saafi ah, filim ka samaysan bir ama filim isku dhafan; wuxuu noqon karaa hal lakab oo filim ah iyo filim isku dhafan oo lakabyo badan ah.
Faa'iidooyinkeeda sida soo socota:
Ma aha oo kaliya isku-darka faa'iidooyinka daahan kala duwan ee ion waxayna tixgelisaa diyaarinta iyo dhigista filimka khafiifka ah ee qaybaha kala duwan ee codsiga, laakiin sidoo kale waxay u ogolaataa diyaarinta iyo diyaarinta filimada monolithic multi-lakabka ah ama filimo isku dhafan oo isku dhafan oo isku mid ah qolka daahan vacuum hal mar.
Codsiyada lakabyada filimka la xareeyay ayaa si weyn loo isticmaalaa tignoolajiyada ay ku jiraan qaabab kala duwan, kuwa caadiga ah sida soo socota:
(1) Isku-xidhka isku-dhafka magnetron-ka ee aan dheelli-tirnayn iyo tignoolajiyada dhejinta ion kathodic.
Qalabkeeda ayaa lagu muujiyay sida soo socota. Waa qalab daahan ka kooban ee bartilmaameedka magnetron columnar iyo planar cathodic arc ion daahan, kaas oo ku haboon labada filim daahan daahan iyo daahan filimka qurxinta. Wixii daahan qalab, daahan cathodic arc ion waxaa marka hore loo isticmaalaa daahan lakabka salka, ka dibna tiirka magnetron bartilmaameedka waxaa loo isticmaalaa dhigaalka ee nitride iyo lakabyada kale ee filimada si aad u hesho a-sax-sax-sare filimka dusha processing qalab.
Dahaarka qurxinta, TiN iyo ZrN filimada qurxinta waxaa lagu kaydin karaa daboolka cathodic arc marka hore, ka dibna lagu dhejiyo birta iyadoo la adeegsanayo bartilmaameedyada magnetron, saameynta doping-ka waa mid aad u wanaagsan.
(2) Xarunta magnetron ee mataanaha ah iyo tiirarka cathode arc ion farsamooyinka daahan. Qalabka waxaa lagu muujiyay sida soo socota. Waxaa loo isticmaalaa tignoolajiyada horumarsan ee mataanaha ah, marka laba bartilmaameed oo mataano ah oo dhinac-dhinac ah oo ku xidhan sahayda tamarta inta jeer ee dhexdhexaadka ah, kaliya maaha inay ka gudubto sunta bartilmaameedka ah ee qulqulka DC, dabka iyo cilladaha kale; waxayna ku shubi kartaa Al203, filimka tayada leh ee SiO2 oxide, si ay u adkeysiga oksaydhka ee qaybaha dahaarka ah ay kordheen oo ay wanaajiyaan. Bartilmaameedka Columnar Multi-Arc ee lagu rakibay bartamaha qolka faaruqinta, walxaha bartilmaameedka ah waxaa loo isticmaali karaa Ti iyo Zr, ma aha oo kaliya in la ilaaliyo faa'iidooyinka heerka sare ee kala-baxa badan ee arc, heerka kaydinta, laakiin sidoo kale si wax ku ool ah ayuu u yareeyaa "dhibcaha" habka diyaaradda yar yar ee bartilmaameedka bartilmaameedka ah, kaydinta iyo diyaarin kartaa porosity hoose ee filimada birta ah, filimada dhismaha. Haddii Al iyo Si loo isticmaalo sidii agabka bartilmaameedka loogu talagalay bartilmaameedyada magnetron-ka ee mataanaha ah ee lagu rakibay agagaarka, filimada birta-ceramiga ah ee Al203 ama Si0 waa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa. Intaa waxaa dheer, diyaarado yaryar oo badan oo ilo uumi-baxyo badan leh ayaa lagu rakibi karaa hareeraha, iyo walxaha bartilmaameedka ahi waxay noqon karaan Cr ama Ni, filimada birta ah iyo filimada isku dhafan ee isku dhafan ayaa la dhigi karaa oo la diyaarin karaa. Sidaa darteed, tignoolajiyadan dahaarka isku dhafan waa tignoolajiyada daahan oo isku dhafan oo leh codsiyo badan.
Waqtiga boostada: Nov-08-2022