Oprema za kompozitne premaze z magnetronskim razprševanjem in katodnim večločnim ionskim premazom lahko deluje ločeno in hkrati; lahko nanaša in pripravlja čisto kovinsko folijo, kovinsko spojino ali kompozitno folijo; lahko je enoslojna folija in večslojna kompozitna folija.
Njegove prednosti so naslednje:
Ne le združuje prednosti različnih ionskih premazov in upošteva pripravo in nanašanje tankih filmov za različna področja uporabe, temveč omogoča tudi nanašanje in pripravo večplastnih monolitnih filmov ali večplastnih kompozitnih filmov v isti vakuumski komori za nanašanje hkrati.
Uporaba nanesenih filmskih slojev je široko uporabljena, tehnologije pa so v različnih oblikah, tipične pa so naslednje:
(1) Spojina neravnovesnega magnetronskega razprševanja in tehnologije katodnega ionskega nanašanja.
Njegova naprava je prikazana spodaj. Gre za opremo za nanašanje sestavljenih premazov s stebričnim magnetronskim tarčo in planarnim katodnim obločnim ionskim premazom, ki je primerna tako za nanašanje sestavljenih filmov na orodja kot za nanašanje dekorativnih filmov. Pri nanašanju na orodja se najprej uporabi katodni obločni ionski premaz za osnovni sloj, nato pa se stebrični magnetronski tarča uporabi za nanašanje nitrida in drugih filmskih slojev, da se dobi visoko natančen film na površini orodja za obdelavo.
Za dekorativni premaz se lahko dekorativni filmi TiN in ZrN najprej nanesejo s katodnim obločnim premazom, nato pa se dopirajo s kovino z uporabo magnetronskih tarč, kar ima zelo dober učinek dopiranja.
(2) Tehnike nanašanja z dvojnim ravninskim magnetronom in stebričnim katodnim oblokom z ionskim premazom. Naprava je prikazana spodaj. Uporablja napredno tehnologijo dvojnih tarč, pri kateri sta dve vzporedni dvojni tarči povezani s srednjefrekvenčnim virom napajanja, kar ne le odpravi zastrupitev tarče z enosmernim razprševanjem, ognjem in drugimi pomanjkljivostmi, temveč omogoča tudi nanašanje filma kakovosti oksida Al203 in SiO2, s čimer se poveča in izboljša odpornost premazanih delov na oksidacijo. Stebričasta večločna tarča, nameščena na sredini vakuumske komore, lahko kot material tarče uporabi Ti in Zr, kar ne le ohranja prednosti visoke hitrosti disociacije in nanašanja pri večločnem nanosu, temveč tudi učinkovito zmanjšuje "kapljice" v procesu nanašanja majhnih ravninskih večločnih tarč, kar omogoča nanašanje in pripravo kovinskih filmov z nizko poroznostjo, sestavljenih filmov. Če se kot material tarče za dvojne ravninske magnetronske tarče, nameščene na obrobju, uporabita Al in Si, se lahko nanesejo in pripravijo kovinsko-keramični filmi Al203 ali Si0. Poleg tega je mogoče na obrobju namestiti več majhnih ravnin večločnega uparjalnega vira, njegov ciljni material pa je lahko Cr ali Ni, kovinske in večplastne kompozitne filme pa je mogoče nanašati in pripravljati. Zato je ta tehnologija kompozitnega premaza tehnologija kompozitnega premaza z več možnostmi uporabe.
Čas objave: 8. november 2022