Zariadenia na nanášanie kompozitných povlakov magnetrónovým naprašovaním a katódovým viacoblúkovým iónovým povlakovaním môžu pracovať samostatne aj súčasne; môžu nanášať a pripravovať čistý kovový film, kovový zložený film alebo kompozitný film; môžu byť jednovrstvové filmy a viacvrstvové kompozitné filmy.
Jeho výhody sú nasledovné:
Nielenže kombinuje výhody rôznych iónových povlakov a zohľadňuje prípravu a nanášanie tenkých vrstiev pre rôzne oblasti použitia, ale umožňuje aj nanášanie a prípravu viacvrstvových monolitických vrstiev alebo viacvrstvových kompozitných vrstiev v tej istej vákuovej povlakovacej komore súčasne.
Aplikácie nanesených filmových vrstiev sú široko používané a ich technológie majú rôzne formy, pričom typické sú nasledovné:
(1) Zlúčenina nerovnovážneho magnetrónového naprašovania a technológie katódového iónového pokovovania.
Jeho zariadenie je znázornené nižšie. Ide o zariadenie na nanášanie zložených vrstiev so stĺpcovým magnetrónovým terčom a planárnym katódovým oblúkovým iónovým povlakom, ktoré je vhodné na nanášanie zložených vrstiev nástrojov aj na nanášanie dekoratívnych vrstiev. Pri nanášaní vrstiev nástrojov sa katódový oblúkový iónový povlak najprv použije na nanášanie základnej vrstvy a potom sa stĺpcový magnetrónový terč použije na nanášanie nitridov a ďalších vrstiev filmu, čím sa získa vysoko presná povrchová vrstva nástroja na spracovanie.
Pre dekoratívne povlaky je možné najprv naniesť dekoratívne filmy TiN a ZrN katódovým oblúkovým povlakom a potom ich dopovať kovom pomocou magnetrónových terčov, pričom dopovací účinok je veľmi dobrý.
(2) Kombinácia techník iónového nanášania dvojplošného magnetrónu a stĺpcovej katódy s oblúkom. Zariadenie je znázornené nasledovne. Používa pokročilú technológiu dvojplošného terča, keď sú dva dvojplošné terče vedľa seba pripojené k strednofrekvenčnému zdroju napájania, nielenže sa prekonáva otrava terča jednosmerným naprašovaním, ohňom a inými nevýhodami; a je možné nanášať film kvality oxidu Al203, SiO2, čím sa zvyšuje a zlepšuje odolnosť potiahnutých častí voči oxidácii. Stĺpcový viacoblúkový terč inštalovaný v strede vákuovej komory, terč môže byť materiálom Ti a Zr, nielen na zachovanie výhod vysokej rýchlosti disociácie a rýchlosti nanášania pri viacerých oblúkoch, ale tiež na účinné zníženie „kvapiek“ v procese nanášania malých rovinných viacoblúkových terčov, čo umožňuje nanášať a pripravovať kovové filmy s nízkou pórovitosťou, zložené filmy. Ak sa ako terčové materiály pre dvojité planárne magnetrónové terče inštalované na obvode použijú Al a Si, je možné nanášať a pripravovať kovovo-keramické filmy Al203 alebo Si0. Okrem toho je možné na obvode nainštalovať viacero malých rovín viacoblúkového odparovacieho zdroja, ktorého cieľovým materiálom môže byť Cr alebo Ni, a je možné nanášať a pripravovať kovové filmy a viacvrstvové kompozitné filmy. Preto je táto technológia kompozitného povlakovania technológiou kompozitného povlakovania s viacerými aplikáciami.
Čas uverejnenia: 8. novembra 2022