ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ ڪيٿوڊڪ ملٽي آرڪ آئن ڪوٽنگ جامع ٽيڪنالاجي

ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ ڪيٿوڊڪ ملٽي آرڪ آئن ڪوٽنگ جو جامع ڪوٽنگ سامان الڳ الڳ ۽ هڪ ئي وقت ڪم ڪري سگهي ٿو؛ جمع ڪري سگهجي ٿو ۽ خالص ڌاتو فلم، ڌاتو مرڪب فلم يا جامع فلم تيار ڪري سگهجي ٿو؛ فلم جي هڪ پرت ۽ هڪ گھڻ-پرت جامع فلم ٿي سگهي ٿي.

ان جا فائدا هن ريت آهن:
اهو نه رڳو مختلف آئن ڪوٽنگن جي فائدن کي گڏ ڪري ٿو ۽ ايپليڪيشن جي مختلف شعبن لاءِ پتلي فلم جي تياري ۽ جمع کي مدنظر رکي ٿو، پر هڪ ئي ويڪيوم ڪوٽنگ چيمبر ۾ ملٽي ليئر مونوليٿڪ فلمن يا ملٽي ليئر ڪمپوزٽ فلمن جي جمع ۽ تياري جي اجازت پڻ ڏئي ٿو.
جمع ٿيل فلم پرتن جي ايپليڪيشنن کي وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويندو آهي ان جي ٽيڪنالاجيون مختلف شڪلن ۾ آهن، عام طور تي هيٺ ڏنل آهن:
(1) غير متوازن ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ ڪيٿوڊڪ آئن پليٽنگ ٽيڪنالاجي جو مرڪب.
ان جو ڊوائيس هيٺ ڏنل طور تي ڏيکاريو ويو آهي. اهو ڪالمنر ميگنيٽرون ٽارگيٽ ۽ پلانر ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ جو هڪ مرڪب ڪوٽنگ سامان آهي، جيڪو ٽول ڪوٽنگ ڪمپائونڊ فلم ۽ آرائشي فلم ڪوٽنگ ٻنهي لاءِ موزون آهي. ٽول ڪوٽنگ لاءِ، ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ پهرين بيس ليئر ڪوٽنگ لاءِ استعمال ڪئي ويندي آهي، ۽ پوءِ ڪالمن ميگنيٽرون ٽارگيٽ نائٽرائڊ ۽ ٻين فلم ليئرز جي جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ته جيئن هڪ اعليٰ صحت واري پروسيسنگ ٽول مٿاڇري فلم حاصل ڪري سگهجي.
آرائشي ڪوٽنگ لاءِ، TiN ۽ ZrN آرائشي فلمن کي پهرين ڪيٿوڊڪ آرڪ ڪوٽنگ ذريعي جمع ڪري سگهجي ٿو، ۽ پوءِ ميگنيٽرون ٽارگيٽ استعمال ڪندي ڌاتو سان ڊوپ ڪيو وڃي ٿو، ۽ ڊوپنگ اثر تمام سٺو آهي.

(2) ٽوئن پلين ميگنيٽرون ۽ ڪالم ڪيٿوڊ آرڪ آئن ڪوٽنگ ٽيڪنڪ جو مرڪب. ڊوائيس هيٺ ڏنل طور تي ڏيکاريل آهي. اهو ترقي يافته ٽوئن ٽارگيٽ ٽيڪنالاجي استعمال ڪيو ويندو آهي، جڏهن ٻه پاسي کان ٽوئن ٽارگيٽ وچولي فريڪوئنسي پاور سپلائي سان ڳنڍيل هوندا آهن، اهو نه رڳو ڊي سي اسپٽرنگ، باهه ۽ ٻين خرابين جي ٽارگيٽ زهر تي قابو پائي ٿو؛ ۽ Al203، SiO2 آڪسائيڊ معيار جي فلم جمع ڪري سگهي ٿو، انهي ڪري ته ڪوٽ ٿيل حصن جي آڪسائيڊيشن مزاحمت وڌي ۽ بهتر ٿي آهي. ويڪيوم چيمبر جي مرڪز ۾ نصب ڪيل ڪالمنر ملٽي آرڪ ٽارگيٽ، ٽارگيٽ مواد کي Ti ۽ Zr استعمال ڪري سگهجي ٿو، نه رڳو اعلي ملٽي آرڪ ڊسڪشن ريٽ، جمع ڪرڻ جي شرح جي فائدن کي برقرار رکڻ لاءِ، پر ننڍي جهاز جي ملٽي آرڪ ٽارگيٽ جمع ڪرڻ جي عمل ۾ "بوندن" کي مؤثر طريقي سان گهٽائي سگھي ٿو، ڌاتو فلمن، مرڪب فلمن جي گهٽ پورسيٽي جمع ڪري سگهي ٿو ۽ تيار ڪري سگهي ٿو. جيڪڏهن Al ۽ Si کي پردي تي نصب ٿيل ٽوئن پلانر ميگنيٽرون ٽارگيٽ لاءِ ٽارگيٽ مواد طور استعمال ڪيو وڃي، Al203 يا Si0 ڌاتو-سيرامڪ فلمون جمع ۽ تيار ڪري سگهجن ٿيون. ان کان علاوه، گھڻ-آرڪ بخارات جي ذريعن جا ڪيترائي ننڍا جهاز پردي تي نصب ڪري سگھجن ٿا، ۽ ان جو ٽارگيٽ مواد Cr يا Ni ٿي سگھي ٿو، ۽ ڌاتو فلمون ۽ ملٽي ليئر جامع فلمون جمع ڪري تيار ڪري سگھجن ٿيون. تنهن ڪري، هي جامع ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي هڪ جامع ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي آهي جنهن ۾ ڪيترائي ايپليڪيشن آهن.