Echipamentele de acoperire compozită prin pulverizare magnetronică și acoperire catodică cu ioni multipli pot funcționa separat și simultan; pot fi depuse și preparate pelicule metalice pure, pelicule metalice compuse sau pelicule compozite; pot fi pelicule cu un singur strat și pelicule compozite multistrat.
Avantajele sale sunt următoarele:
Nu numai că combină avantajele diferitelor acoperiri ionice și ia în considerare pregătirea și depunerea peliculelor subțiri pentru diverse domenii de aplicare, dar permite și depunerea și prepararea peliculelor monolitice multistrat sau a peliculelor compozite multistrat în aceeași cameră de acoperire în vid, în același timp.
Aplicațiile straturilor de film depuse sunt utilizate pe scară largă, tehnologiile sale fiind de diferite forme, cele tipice fiind următoarele:
(1) Compusul tehnologiei de pulverizare magnetronică în condiții de dezechilibru și placare catodică cu ioni.
Dispozitivul său este prezentat după cum urmează. Este un echipament de acoperire compusă cu țintă magnetronică columnară și acoperire planară cu ioni de arc catodic, potrivit atât pentru acoperirea cu peliculă compusă a sculelor, cât și pentru acoperirea cu peliculă decorativă. Pentru acoperirea sculelor, acoperirea cu ioni de arc catodic este utilizată mai întâi pentru stratul de bază, iar apoi ținta magnetronică columnară este utilizată pentru depunerea de nitrură și alte straturi de peliculă pentru a obține o peliculă de suprafață a sculei de prelucrare de înaltă precizie.
Pentru acoperiri decorative, peliculele decorative de TiN și ZrN pot fi depuse mai întâi prin acoperire cu arc catodic, apoi dopate cu metal folosind ținte magnetronice, efectul de dopare fiind foarte bun.
(2) Tehnicile de acoperire cu ioni de arc pe catod cu magnetron plan dublu și coloană. Dispozitivul este prezentat după cum urmează. Acesta utilizează tehnologia avansată a țintelor duble. Atunci când două ținte duble alăturate sunt conectate la o sursă de alimentare de medie frecvență, nu numai că depășește intoxicația țintelor cauzată de pulverizarea cu curent continuu, incendiu și alte dezavantaje, dar poate depune și pelicule de calitate a oxidului de Al203 și SiO2, astfel încât rezistența la oxidare a pieselor acoperite crește și se îmbunătățește. Ținta multi-arc columnară instalată în centrul camerei de vid poate fi utilizată ca material Ti și Zr, nu numai pentru a menține avantajele ratei ridicate de disociere multi-arc și a ratei de depunere, dar poate reduce eficient „picăturile” în procesul de depunere a țintelor multi-arc cu plan mic, putând depune și prepara pelicule metalice cu porozitate redusă, pelicule compuse. Dacă Al și Si sunt utilizate ca materiale țintă pentru țintele magnetron plan dublu instalate la periferie, se pot depune și prepara pelicule metalo-ceramice de Al203 sau SiO. În plus, la periferie pot fi instalate mai multe planuri mici de sursă de evaporare multi-arc, iar materialul țintă poate fi Cr sau Ni, putând fi depuse și preparate pelicule metalice și pelicule compozite multistrat. Prin urmare, această tehnologie de acoperire compozită este o tehnologie de acoperire compozită cu aplicații multiple.
Data publicării: 08 noiembrie 2022