د مقناطیسي سپټرینګ او کیتوډیک څو-آرک ایون کوټینګ جامع کوټینګ تجهیزات کولی شي په جلا توګه او په ورته وخت کې کار وکړي؛ کولی شي زیرمه شي او خالص فلزي فلم، د فلزي مرکب فلم یا مرکب فلم چمتو شي؛ کیدی شي د فلم یو واحد طبقه او یو څو-پرت جامع فلم وي.
ګټې یې په لاندې ډول دي:
دا نه یوازې د مختلفو ایون کوټینګونو ګټې سره یوځای کوي او د غوښتنلیک مختلفو برخو لپاره د پتلي فلم چمتو کول او زیرمه کول په پام کې نیسي، بلکې په ورته ویکیوم کوټینګ چیمبر کې د څو پرتونو مونولیتیک فلمونو یا څو پرتونو مرکب فلمونو زیرمه کولو او چمتو کولو ته هم اجازه ورکوي.
د زیرمه شوي فلم طبقو غوښتنلیکونه په پراخه کچه کارول کیږي د هغې ټیکنالوژي په مختلفو بڼو کې دي، چې ځانګړي یې په لاندې ډول دي:
(۱) د غیر متوازن مقناطیسي سپټرینګ او کیتوډیک ایون پلیټینګ ټیکنالوژۍ ترکیب.
د دې وسیله په لاندې ډول ښودل شوې ده. دا د ستوني مقناطیسي هدف او پلانر کاتوډیک آرک آئن کوټینګ مرکب کوټینګ تجهیزات دي، کوم چې د وسیلې کوټینګ مرکب فلم او آرائشی فلم کوټینګ دواړو لپاره مناسب دی. د وسیلې کوټینګ لپاره، د کاتوډیک آرک آئن کوټینګ لومړی د اساس پرت کوټینګ لپاره کارول کیږي، او بیا د ستون مقناطیسي هدف د نایټرایډ او نورو فلم پرتونو د زیرمه کولو لپاره کارول کیږي ترڅو د لوړ دقیق پروسس کولو وسیلې سطحي فلم ترلاسه کړي.
د سینګار کوټینګ لپاره، TiN او ZrN سینګار فلمونه لومړی د کیتوډیک آرک کوټینګ لخوا زیرمه کیدی شي، او بیا د مقناطیسي هدفونو په کارولو سره د فلز سره ډوپینګ کیږي، او د ډوپینګ اغیز خورا ښه دی.
(2) د دوه ګوني الوتکې مقناطیس او د ستون کیتوډ آرک آئن کوټینګ تخنیکونو ترکیب. وسیله په لاندې ډول ښودل شوې. دا د پرمختللي دوه ګوني هدف ټیکنالوژۍ څخه کار اخیستل کیږي، کله چې دوه څنګ په څنګ دوه ګوني هدفونه د منځنۍ فریکونسۍ بریښنا رسولو سره وصل وي، دا نه یوازې د DC سپټرینګ، اور او نورو نیمګړتیاوو د هدف زهرجن کولو باندې بریالي کیږي؛ او کولی شي Al203، SiO2 اکسایډ کیفیت فلم زیرمه کړي، ترڅو د پوښل شوي برخو اکسیډیشن مقاومت زیات او ښه شوی وي. د ویکیوم چیمبر په مرکز کې نصب شوي کالمر ملټي آرک هدف، د هدف مواد د Ti او Zr څخه کار اخیستل کیدی شي، نه یوازې د لوړ څو آرک جلا کولو نرخ، د جمع کولو نرخ ګټې ساتلو لپاره، بلکه کولی شي په مؤثره توګه د کوچني الوتکې څو آرک هدف زیرمه کولو په پروسه کې "څاڅکي" کم کړي، کولی شي د فلزي فلمونو، مرکب فلمونو ټیټ پورسیت زیرمه او چمتو کړي. که چیرې Al او Si د دوه ګوني پلانر مقناطیس هدفونو لپاره د هدف موادو په توګه وکارول شي چې په محیط کې نصب شوي، Al203 یا Si0 فلزي سیرامیک فلمونه زیرمه او چمتو کیدی شي. برسېره پردې، د څو قوسونو د تبخیر سرچینې ډیری کوچنۍ الوتکې په څنډه کې نصب کیدی شي، او د هغې هدف مواد Cr یا Ni کیدی شي، او فلزي فلمونه او څو پوړیز مرکب فلمونه زیرمه او چمتو کیدی شي. له همدې امله، دا مرکب کوټینګ ټیکنالوژي د ډیری غوښتنلیکونو سره د مرکب کوټینګ ټیکنالوژي ده.
د پوسټ وخت: نومبر-۰۸-۲۰۲۲