Urządzenia do nakładania powłok kompozytowych metodą rozpylania magnetronowego i katodowego powlekania jonowego wielołukowego mogą pracować niezależnie i równocześnie; można nanosić i przygotowywać czystą warstwę metalu, warstwę związku metalu lub warstwę kompozytową; może to być pojedyncza warstwa folii lub wielowarstwowa warstwa kompozytowa.
Oto jego zalety:
Łączy ona nie tylko zalety różnych powłok jonowych i uwzględnia przygotowanie i osadzanie cienkich warstw dla różnych zastosowań, ale także umożliwia osadzanie i przygotowywanie wielowarstwowych monolitycznych folii lub wielowarstwowych folii kompozytowych w tej samej komorze próżniowej w tym samym czasie.
Zastosowania osadzonych warstw filmowych są szeroko rozpowszechnione, a technologie te występują w różnych formach. Oto typowe formy:
(1) Połączenie technologii rozpylania magnetronowego nierównowagowego i galwanizacji katodowej.
Jego urządzenie pokazano w następujący sposób. Jest to urządzenie do powlekania złożonego z kolumnowego tarczy magnetronowej i płaskiej powłoki jonowej łuku katodowego, która nadaje się zarówno do powlekania narzędzi powłoką złożoną, jak i powłoką dekoracyjną. W przypadku powlekania narzędzi powłoka jonowa łuku katodowego jest najpierw używana do powlekania warstwy bazowej, a następnie kolumna tarczy magnetronowej jest używana do osadzania azotku i innych warstw folii w celu uzyskania wysoce precyzyjnej powłoki powierzchniowej narzędzia do obróbki.
W przypadku powłok dekoracyjnych, powłoki dekoracyjne TiN i ZrN można najpierw osadzić metodą katodowego powlekania łukiem elektrycznym, a następnie domieszkować je metalem za pomocą tarcz magnetronowych. Efekt domieszkowania jest bardzo dobry.
(2) Połączenie technik powlekania jonowego łukiem jonowym z podwójnym płaszczyznowym magnetronem i kolumną katodową. Urządzenie pokazano w następujący sposób. Wykorzystuje zaawansowaną technologię podwójnych tarcz, gdy dwa umieszczone obok siebie podwójne tarcze są połączone ze źródłem zasilania o średniej częstotliwości, nie tylko pokonuje zatrucie tarczy przez rozpylanie DC, ogień i inne wady; i może osadzać wysokiej jakości warstwę tlenku Al203, SiO2, dzięki czemu odporność na utlenianie powlekanych części wzrosła i uległa poprawie. Kolumnowa tarcza wielołukowa zainstalowana w środku komory próżniowej, materiał tarczy może być używany z Ti i Zr, nie tylko w celu utrzymania zalet wysokiej szybkości dysocjacji wielołukowej, szybkości osadzania, ale także może skutecznie redukować „krople” w procesie osadzania małej płaszczyzny tarczy wielołukowej, może osadzać i przygotowywać niską porowatość warstw metalowych, warstw złożonych. Jeśli Al i Si są używane jako materiały tarczy dla podwójnych płaskich tarcz magnetronowych zainstalowanych na obwodzie, można osadzać i przygotowywać warstwy metalowo-ceramiczne Al203 lub Si0. Ponadto, wiele małych płaszczyzn wielołukowego źródła parowania może być zainstalowanych na obwodzie, a jego materiałem docelowym może być Cr lub Ni, a także mogą być osadzane i przygotowywane folie metalowe i wielowarstwowe folie kompozytowe. Dlatego ta technologia powłok kompozytowych jest technologią powłok kompozytowych o wielu zastosowaniach.
Czas publikacji: 08-11-2022