ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣର କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ପୃଥକ ଭାବରେ ଏବଂ ଏକକାଳୀନ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ; ଏହାକୁ ଜମା କରାଯାଇ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧ ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ, ଧାତୁ ଯୌଗିକ ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ; ଏକ ସ୍ତରର ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ଏକ ବହୁ-ସ୍ତରୀୟ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଫିଲ୍ମ ହୋଇପାରେ।
ଏହାର ସୁବିଧା ନିମ୍ନଲିଖିତ:
ଏହା କେବଳ ବିଭିନ୍ନ ଆୟନ ଆବରଣର ସୁବିଧାକୁ ମିଶ୍ରଣ କରେ ନାହିଁ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ଜମାକୁ ବିଚାରକୁ ନିଏ ନାହିଁ, ବରଂ ସମାନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଏକ ସମୟରେ ବହୁ-ସ୍ତର ମୋନୋଲିଥିକ୍ ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା ବହୁ-ସ୍ତର କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତିକୁ ମଧ୍ୟ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରୟୋଗ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | ଏହାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରରେ, ସାଧାରଣତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ:
(୧) ଅସନ୍ତୁଳିତ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଯୌଗିକ।
ଏହାର ଉପକରଣ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦେଖାଯାଇଛି। ଏହା ସ୍ତମ୍ଭାକାର ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଏବଂ ପ୍ଲାନାର କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣର ଏକ ଯୌଗିକ ଆବରଣ ଉପକରଣ, ଯାହା ଉପକରଣ ଆବରଣ କମ୍ପାଉଣ୍ଡ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସାଜସଜ୍ଜା ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ ଉଭୟ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। ଉପକରଣ ଆବରଣ ପାଇଁ, କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଥମେ ବେସ୍ ସ୍ତର ଆବରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ ସ୍ତମ୍ଭ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକର ଜମା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ ପୃଷ୍ଠ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରାପ୍ତ ହୁଏ।
ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ ପାଇଁ, TiN ଏବଂ ZrN ସାଜସଜ୍ଜା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଥମେ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ଜମା କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ତାପରେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟ ବ୍ୟବହାର କରି ଧାତୁ ସହିତ ଡୋପ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଡୋପିଂ ପ୍ରଭାବ ବହୁତ ଭଲ।
(2) ଯୁଗ୍ମ ବିମାନ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ସ୍ତମ୍ଭ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ କୌଶଳର ଯୌଗିକ। ଉପକରଣଟି ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି। ଏହା ଉନ୍ନତ ଯୁଗ୍ମ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ, ଯେତେବେଳେ ଦୁଇଟି ପାର୍ଶ୍ଵ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଯୁଗ୍ମ ଲକ୍ଷ୍ୟ ମଧ୍ୟମ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ସହିତ ସଂଯୋଗ କରାଯାଏ, ଏହା କେବଳ DC ସ୍ପଟରିଂ, ଅଗ୍ନି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅସୁବିଧାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ବିଷକୁ ଦୂର କରେ ନାହିଁ; ଏବଂ Al203, SiO2 ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଗୁଣବତ୍ତା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଆବୃତ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧ ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଉନ୍ନତି ହୋଇଛି। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର କେନ୍ଦ୍ରରେ ସ୍ଥାପିତ ସ୍ତମ୍ଭକାର ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ୍ ଟାର୍ଗେଟ, ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ Ti ଏବଂ Zr ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, କେବଳ ଉଚ୍ଚ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ୍ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାର, ଜମା ହାରର ସୁବିଧା ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ନୁହେଁ, ବରଂ ଛୋଟ ବିମାନ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ୍ ଟାର୍ଗେଟ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ "ଡ୍ରପ୍ଟସ୍" କୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ, ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ, ଯୌଗିକ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଏକ କମ୍ ପୋରୋସିଟି ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିପାରିବ। ଯଦି Al ଏବଂ Si ପରିଧିରେ ସ୍ଥାପିତ ଯୁଗ୍ମ ପ୍ଲାନର୍ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପାଇଁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ତେବେ Al203 କିମ୍ବା Si0 ଧାତୁ-ସିରାମିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ। ଏହା ସହିତ, ପରିଧିରେ ବହୁ-ଚାପ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସର ଏକାଧିକ ଛୋଟ ବିମାନ ସ୍ଥାପନ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଏହାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ Cr କିମ୍ବା Ni ହୋଇପାରେ, ଏବଂ ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ବହୁସ୍ତରୀୟ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ। ତେଣୁ, ଏହି କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏକ ବହୁବିଧ ପ୍ରୟୋଗ ସହିତ ଏକ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର-୦୮-୨୦୨୨