Komposittbeleggsutstyr for magnetronsputtering og katodisk multi-arc-ionbelegg kan fungere separat og samtidig; kan avsettes og fremstilles ren metallfilm, metallforbindelsesfilm eller komposittfilm; kan være et enkelt lag med film og en flerlags komposittfilm.
Dens fordeler som følger:
Den kombinerer ikke bare fordelene med ulike ionbelegg og tar hensyn til fremstilling og avsetning av tynnfilm for ulike bruksområder, men tillater også avsetning og fremstilling av flerlags monolittiske filmer eller flerlags komposittfilmer i samme vakuumbeleggkammer samtidig.
Bruksområdene for avsatte filmlag er mye brukt, og teknologiene deres finnes i en rekke former, de typiske er som følger:
(1) Forbindelsen av ikke-likevekts magnetronsputtering og katodisk ionepletteringsteknologi.
Enheten er vist som følger. Det er et sammensatt beleggsutstyr for søyleformet magnetronmål og plan katodisk bueionbelegg, som er egnet for både verktøybelegg med sammensatt film og dekorativ filmbelegg. For verktøybelegg brukes det katodiske bueionbelegget først til basislagsbelegget, og deretter brukes søylemagnetronmålet til avsetning av nitrid og andre filmlag for å oppnå en høypresisjons overflatefilm for verktøybehandling.
For dekorative belegg kan dekorative TiN- og ZrN-filmer først avsettes med katodisk lysbuebelegg, og deretter dopes med metall ved hjelp av magnetronmål, og dopingeffekten er veldig god.
(2) Kombinasjonen av toplanmagnetron- og kolonnekatodebueionbeleggingsteknikker. Enheten er vist som følger. Den bruker avansert toplanmagnetronteknologi. Når to side-om-side-tvillingmål kobles til en mellomfrekvensstrømforsyning, overvinner den ikke bare målforgiftning fra DC-sputtering, brann og andre ulemper; og kan avsette Al203- og SiO2-oksidfilmer, slik at oksidasjonsmotstanden til de belagte delene økes og forbedres. Søyleformet flerbuemål er installert i midten av vakuumkammeret. Målmaterialet kan være Ti og Zr, ikke bare for å opprettholde fordelene med høy flerbue-dissosiasjonshastighet og avsetningshastighet, men kan også effektivt redusere "dråper" i prosessen med småplanet flerbuemålavsetning. Dette kan avsette og fremstille metallfilmer og sammensatte filmer med lav porøsitet. Hvis Al og Si brukes som målmaterialer for de toplanmagnetronmålene som er installert i periferien, kan Al203- eller Si0-metallkeramiske filmer avsettes og fremstilles. I tillegg kan flere små plan med flerbuefordampningskilde installeres i periferien, og målmaterialet kan være Cr eller Ni, og metallfilmer og flerlags komposittfilmer kan avsettes og fremstilles. Derfor er denne komposittbeleggteknologien en komposittbeleggteknologi med flere bruksområder.
Publisert: 08. november 2022