Samengestelde coatingapparatuur voor magnetron sputteren en kathodische multi-arc ion coating kan afzonderlijk en gelijktijdig werken; kan zuivere metaalfilm, metaalverbindingsfilm of samengestelde film afzetten en voorbereiden; kan een enkele laag film en een meerlaagse samengestelde film zijn.
De voordelen zijn als volgt:
Het combineert niet alleen de voordelen van verschillende ionencoatings en houdt rekening met de voorbereiding en afzetting van dunne films voor verschillende toepassingsgebieden, maar maakt ook de afzetting en voorbereiding van meerlaagse monolithische films of meerlaagse composietfilms in dezelfde vacuümcoatingkamer op hetzelfde moment mogelijk.
De toepassingen van afgezette filmlagen worden op grote schaal gebruikt. De technologieën komen in verschillende vormen voor, de typische zijn als volgt:
(1) De combinatie van niet-evenwicht magnetron sputteren en kathodische ionenplatingtechnologie.
Het apparaat is als volgt weergegeven. Het betreft een samengestelde coatingapparatuur met een kolomvormig magnetrontarget en een vlakke kathodische boogioncoating, die geschikt is voor zowel gereedschapscoating als decoratieve filmcoating. Bij gereedschapscoating wordt eerst de kathodische boogioncoating gebruikt voor de basislaag, waarna het kolommagnetrontarget wordt gebruikt voor de afzetting van nitride en andere filmlagen om een zeer nauwkeurige bewerkingsfilm voor gereedschapsoppervlakken te verkrijgen.
Voor decoratieve coatings kunnen decoratieve TiN- en ZrN-films eerst worden afgezet door middel van kathodische boogcoating en vervolgens worden gedoteerd met metaal met behulp van magnetrontargets. Het dopingeffect is erg goed.
(2) De combinatie van dubbele vlakke magnetron- en kolomkathodeboog-ioncoatingtechnieken. Het apparaat is als volgt weergegeven. Het maakt gebruik van geavanceerde dubbele targettechnologie. Wanneer twee naast elkaar geplaatste dubbele targets worden gekoppeld aan een middenfrequente voeding, worden niet alleen de targetvergiftiging door DC-sputteren, brand en andere nadelen overwonnen; het kan ook Al2O3-, SiO2-oxidekwaliteitsfilms afzetten, waardoor de oxidatiebestendigheid van de gecoate onderdelen is toegenomen en verbeterd. Kolomvormig multi-arc target, geïnstalleerd in het midden van de vacuümkamer, kan het targetmateriaal Ti en Zr zijn. Dit behoudt niet alleen de voordelen van een hoge multi-arc-dissociatiesnelheid en afzettingssnelheid, maar kan ook effectief "druppels" verminderen tijdens de depositie van kleine vlakke multi-arc targets. Het kan metaalfilms en samengestelde films met een lage porositeit afzetten en voorbereiden. Als Al en Si worden gebruikt als targetmaterialen voor de dubbele vlakke magnetron targets die aan de periferie zijn geïnstalleerd, kunnen Al2O3- of Si0-metaalkeramische films worden afgezet en voorbereid. Bovendien kunnen meerdere kleine vlakken van multi-boogverdampingsbronnen aan de periferie worden geïnstalleerd, waarvan het doelmateriaal Cr of Ni kan zijn. Ook kunnen metaalfilms en meerlaagse composietfilms worden afgezet en voorbereid. Deze composietcoatingtechnologie is daarom een composietcoatingtechnologie met meerdere toepassingen.
Plaatsingstijd: 8 november 2022