Tagħmir ta' kisi kompost ta' sputtering tal-manjetron u kisi ta' joni multi-ark katodiku jista' jaħdem separatament u simultanjament; jista' jiġi depożitat u ppreparat film tal-metall pur, film kompost tal-metall jew film kompost; jista' jkun film ta' saff wieħed u film kompost b'ħafna saffi.
Il-vantaġġi tiegħu huma kif ġej:
Mhux biss jgħaqqad il-vantaġġi ta' diversi kisi tal-joni u jqis il-preparazzjoni u d-depożizzjoni ta' film irqiq għal diversi oqsma ta' applikazzjoni, iżda jippermetti wkoll id-depożizzjoni u l-preparazzjoni ta' films monolitiċi b'ħafna saffi jew films komposti b'ħafna saffi fl-istess kamra tal-kisi bil-vakwu fl-istess ħin.
L-applikazzjonijiet tas-saffi tal-film depożitati jintużaw ħafna u t-teknoloġiji tagħhom huma f'varjetà ta' forom, dawk tipiċi huma kif ġej:
(1) Il-kompost tat-teknoloġija tal-isputtering tal-manjetron mhux f'ekwilibriju u l-kisi tal-jone katodiku.
L-apparat tiegħu huwa muri kif ġej. Huwa tagħmir ta' kisi kompost ta' mira ta' magnetron kolonnari u kisi ta' joni ta' ark katodiku planari, li huwa adattat kemm għall-film kompost tal-kisi tal-għodda kif ukoll għall-kisi ta' film dekorattiv. Għall-kisi tal-għodda, il-kisi ta' joni ta' ark katodiku jintuża l-ewwel għall-kisi tas-saff bażi, u mbagħad il-mira ta' magnetron kolonna tintuża għad-depożizzjoni ta' nitrur u saffi oħra tal-film biex jinkiseb film tal-wiċċ tal-għodda tal-ipproċessar ta' preċiżjoni għolja.
Għal kisi dekorattiv, il-films dekorattivi tat-TiN u taż-ZrN jistgħu jiġu depożitati l-ewwel permezz ta' kisi b'ark katodiku, u mbagħad iddopjati bil-metall bl-użu ta' miri tal-manjetron, u l-effett tad-doping huwa tajjeb ħafna.
(2) Il-kompost ta' tekniki ta' kisi ta' joni tal-ark katodu tal-kolonna u magnetron b'żewġ pjani. L-apparat huwa muri kif ġej. Juża t-teknoloġija avvanzata ta' mira doppja, meta żewġ miri doppji ħdejn xulxin ikunu konnessi mal-provvista tal-enerġija ta' frekwenza medja, mhux biss jegħleb l-avvelenament tal-mira minn sputtering DC, nar u żvantaġġi oħra; u jista' jiddepożita film ta' kwalità ta' ossidu Al203, SiO2, sabiex ir-reżistenza għall-ossidazzjoni tal-partijiet miksija tiżdied u titjieb. Mira multi-ark kolonnari installata fiċ-ċentru tal-kamra tal-vakwu, il-materjal tal-mira jista' jintuża Ti u Zr, mhux biss biex iżomm il-vantaġġi ta' rata għolja ta' dissoċjazzjoni multi-ark, rata ta' depożizzjoni, iżda jista' wkoll inaqqas b'mod effettiv il-"qtar" fil-proċess ta' depożizzjoni ta' mira multi-ark b'pjan żgħir, jista' jiddepożita u jipprepara films tal-metall b'porożità baxxa, films komposti. Jekk Al u Si jintużaw bħala l-materjali tal-mira għall-miri tal-magnetron b'żewġ pjani installati fil-periferija, films tal-metall-ċeramika Al203 jew Si0 jistgħu jiġu depożitati u ppreparati. Barra minn hekk, jistgħu jiġu installati diversi pjani żgħar ta' sors ta' evaporazzjoni b'ħafna ark fil-periferija, u l-materjal fil-mira tiegħu jista' jkun Cr jew Ni, u jistgħu jiġu depożitati u ppreparati films tal-metall u films komposti b'ħafna saffi. Għalhekk, din it-teknoloġija tal-kisi kompost hija teknoloġija ta' kisi kompost b'applikazzjonijiet multipli.
Ħin tal-posta: 08 ta' Novembru 2022