मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक मल्टी-आर्क आयन कोटिंगचे कंपोझिट कोटिंग उपकरणे स्वतंत्रपणे आणि एकाच वेळी काम करू शकतात; शुद्ध धातूची फिल्म, धातूचे कंपाऊंड फिल्म किंवा कंपोझिट फिल्म जमा करून तयार करता येते; फिल्मचा एक थर आणि बहु-स्तरीय कंपोझिट फिल्म असू शकते.
त्याचे फायदे खालीलप्रमाणे आहेत:
हे केवळ विविध आयन कोटिंग्जचे फायदे एकत्र करत नाही आणि विविध क्षेत्रांसाठी पातळ फिल्म तयार करणे आणि जमा करणे विचारात घेत नाही, तर एकाच वेळी एकाच व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबरमध्ये मल्टी-लेयर मोनोलिथिक फिल्म्स किंवा मल्टी-लेयर कंपोझिट फिल्म्स जमा करणे आणि तयार करणे देखील अनुमती देते.
जमा केलेल्या फिल्म लेयर्सचा वापर मोठ्या प्रमाणावर केला जातो. त्याची तंत्रज्ञाने विविध स्वरूपात आहेत, त्यातील सामान्य खालीलप्रमाणे आहेत:
(१) असंतुलित मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग आणि कॅथोडिक आयन प्लेटिंग तंत्रज्ञानाचे संयुग.
त्याचे उपकरण खालीलप्रमाणे दाखवले आहे. हे कॉलमर मॅग्नेट्रॉन टार्गेट आणि प्लॅनर कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचे कंपाऊंड कोटिंग उपकरण आहे, जे टूल कोटिंग कंपाऊंड फिल्म आणि डेकोरेटिव्ह फिल्म कोटिंग दोन्हीसाठी योग्य आहे. टूल कोटिंगसाठी, कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंग प्रथम बेस लेयर कोटिंगसाठी वापरले जाते आणि नंतर कॉलम मॅग्नेट्रॉन टार्गेटचा वापर नायट्राइड आणि इतर फिल्म लेयर्सच्या डिपॉझिशनसाठी केला जातो जेणेकरून उच्च-परिशुद्धता प्रक्रिया साधन पृष्ठभाग फिल्म मिळेल.
सजावटीच्या कोटिंगसाठी, TiN आणि ZrN सजावटीच्या फिल्म्स प्रथम कॅथोडिक आर्क कोटिंगद्वारे जमा केल्या जाऊ शकतात, आणि नंतर मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांचा वापर करून धातूसह डोपिंग केले जाऊ शकते आणि डोपिंग प्रभाव खूप चांगला असतो.
(२) ट्विन प्लेन मॅग्नेट्रॉन आणि कॉलम कॅथोड आर्क आयन कोटिंग तंत्रांचे संयुग. हे उपकरण खालीलप्रमाणे दाखवले आहे. हे प्रगत ट्विन टार्गेट तंत्रज्ञानाचा वापर करते, जेव्हा दोन शेजारी जुळे लक्ष्य मध्यम फ्रिक्वेन्सी पॉवर सप्लायशी जोडले जातात, तेव्हा ते केवळ डीसी स्पटरिंग, आग आणि इतर कमतरतांच्या लक्ष्य विषबाधेवर मात करत नाही; आणि Al203, SiO2 ऑक्साईड दर्जाची फिल्म जमा करू शकते, जेणेकरून लेपित भागांचा ऑक्सिडेशन प्रतिरोध वाढला आणि सुधारला. व्हॅक्यूम चेंबरच्या मध्यभागी स्थापित केलेले कॉलमर मल्टी-आर्क टार्गेट, लक्ष्य सामग्री Ti आणि Zr वापरली जाऊ शकते, केवळ उच्च मल्टी-आर्क पृथक्करण दर, निक्षेपण दराचे फायदे राखण्यासाठीच नाही तर लहान प्लेन मल्टी-आर्क टार्गेट निक्षेपण प्रक्रियेत "थेंब" प्रभावीपणे कमी करू शकते, मेटल फिल्म्स, कंपाऊंड फिल्म्सची कमी सच्छिद्रता जमा करू शकते आणि तयार करू शकते. जर परिघावर स्थापित केलेल्या ट्विन प्लॅनर मॅग्नेट्रॉन लक्ष्यांसाठी लक्ष्य सामग्री म्हणून Al आणि Si वापरले गेले तर, Al203 किंवा Si0 मेटल-सिरेमिक फिल्म जमा आणि तयार केल्या जाऊ शकतात. याव्यतिरिक्त, परिघावर बहु-आर्क बाष्पीभवन स्त्रोताचे अनेक लहान प्लेन स्थापित केले जाऊ शकतात आणि त्याचे लक्ष्यित साहित्य Cr किंवा Ni असू शकते आणि धातूचे फिल्म्स आणि बहुस्तरीय कंपोझिट फिल्म्स जमा करून तयार केले जाऊ शकतात. म्हणून, हे कंपोझिट कोटिंग तंत्रज्ञान एक कंपोझिट कोटिंग तंत्रज्ञान आहे ज्यामध्ये अनेक अनुप्रयोग आहेत.
पोस्ट वेळ: नोव्हेंबर-०८-२०२२