മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്, കാഥോഡിക് മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് കോമ്പോസിറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യ

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെയും കാഥോഡിക് മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെയും കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ വെവ്വേറെയും ഒരേസമയം പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും; ശുദ്ധമായ മെറ്റൽ ഫിലിം, മെറ്റൽ കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിം അല്ലെങ്കിൽ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിം നിക്ഷേപിച്ച് തയ്യാറാക്കാം; ഒരു പാളി ഫിലിമും ഒരു മൾട്ടി-ലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമും ആകാം.

അതിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഇപ്രകാരമാണ്:
ഇത് വിവിധ അയോൺ കോട്ടിംഗുകളുടെ ഗുണങ്ങൾ സംയോജിപ്പിക്കുകയും വിവിധ പ്രയോഗ മേഖലകൾക്കായി നേർത്ത ഫിലിം തയ്യാറാക്കലും നിക്ഷേപിക്കലും കണക്കിലെടുക്കുകയും ചെയ്യുക മാത്രമല്ല, ഒരേ സമയം ഒരേ വാക്വം കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ മൾട്ടി-ലെയർ മോണോലിത്തിക് ഫിലിമുകളോ മൾട്ടി-ലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമുകളോ നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും അനുവദിക്കുന്നു.
നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിം പാളികളുടെ പ്രയോഗങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, അതിന്റെ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വിവിധ രൂപങ്ങളിലാണ്, സാധാരണമായവ താഴെ പറയുന്നവയാണ്:
(1) നോൺ-ഇക്വിലിബ്രിയം മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെയും കാഥോഡിക് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെയും സംയുക്തം.
ഇതിന്റെ ഉപകരണം താഴെ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു. ഇത് കോളം മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റിന്റെയും പ്ലാനർ കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെയും ഒരു കോമ്പൗണ്ട് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണമാണ്, ഇത് ടൂൾ കോട്ടിംഗ് കോമ്പൗണ്ട് ഫിലിമിനും അലങ്കാര ഫിലിം കോട്ടിംഗിനും അനുയോജ്യമാണ്. ടൂൾ കോട്ടിംഗിനായി, കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് ആദ്യം ബേസ് ലെയർ കോട്ടിംഗിനായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, തുടർന്ന് ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള പ്രോസസ്സിംഗ് ടൂൾ സർഫേസ് ഫിലിം ലഭിക്കുന്നതിന് നൈട്രൈഡിന്റെയും മറ്റ് ഫിലിം പാളികളുടെയും നിക്ഷേപത്തിനായി കോളം മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു.
അലങ്കാര കോട്ടിംഗിനായി, TiN, ZrN അലങ്കാര ഫിലിമുകൾ ആദ്യം കാഥോഡിക് ആർക്ക് കോട്ടിംഗ് വഴി നിക്ഷേപിക്കാം, തുടർന്ന് മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിച്ച് ലോഹം ഉപയോഗിച്ച് ഡോപ്പിംഗ് ചെയ്യാം, കൂടാതെ ഡോപ്പിംഗ് പ്രഭാവം വളരെ നല്ലതാണ്.

(2) ഇരട്ട തലം മാഗ്നെട്രോണിന്റെയും കോളം കാഥോഡ് ആർക്ക് അയോൺ കോട്ടിംഗ് ടെക്നിക്കുകളുടെയും സംയുക്തം. ഉപകരണം ഇനിപ്പറയുന്ന രീതിയിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു. രണ്ട് വശങ്ങളിലായി സ്ഥിതിചെയ്യുന്ന ഇരട്ട ടാർഗെറ്റുകൾ മീഡിയം ഫ്രീക്വൻസി പവർ സപ്ലൈയുമായി ബന്ധിപ്പിക്കുമ്പോൾ, അത് നൂതന ഇരട്ട ടാർഗെറ്റ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് DC സ്പട്ടറിംഗ്, തീ, മറ്റ് പോരായ്മകൾ എന്നിവയുടെ ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധയെ മറികടക്കുക മാത്രമല്ല; കൂടാതെ Al203, SiO2 ഓക്സൈഡ് ഗുണനിലവാരമുള്ള ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ പൂശിയ ഭാഗങ്ങളുടെ ഓക്സീകരണ പ്രതിരോധം വർദ്ധിക്കുകയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്തു. വാക്വം ചേമ്പറിന്റെ മധ്യഭാഗത്ത് സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന കോളം മൾട്ടി-ആർക്ക് ടാർഗെറ്റ്, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ Ti, Zr എന്നിവ ഉപയോഗിക്കാം, ഉയർന്ന മൾട്ടി-ആർക്ക് ഡിസോസിയേഷൻ നിരക്ക്, ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ നിലനിർത്താൻ മാത്രമല്ല, ചെറിയ തലം മൾട്ടി-ആർക്ക് ടാർഗെറ്റ് ഡിപ്പോസിഷന്റെ പ്രക്രിയയിൽ "ഡ്രോപ്ലെറ്റുകൾ" ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കാനും കഴിയും, ലോഹ ഫിലിമുകളുടെ കുറഞ്ഞ പോറോസിറ്റി, സംയുക്ത ഫിലിമുകൾ എന്നിവ നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും കഴിയും. ചുറ്റളവിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന ഇരട്ട പ്ലാനർ മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾക്കുള്ള ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളായി Al, Si എന്നിവ ഉപയോഗിക്കുകയാണെങ്കിൽ, Al203 അല്ലെങ്കിൽ Si0 മെറ്റൽ-സെറാമിക് ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാനും തയ്യാറാക്കാനും കഴിയും. കൂടാതെ, മൾട്ടി-ആർക്ക് ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെ ഒന്നിലധികം ചെറിയ തലങ്ങൾ ചുറ്റളവിൽ സ്ഥാപിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ അതിന്റെ ലക്ഷ്യ മെറ്റീരിയൽ Cr അല്ലെങ്കിൽ Ni ആകാം, കൂടാതെ മെറ്റൽ ഫിലിമുകളും മൾട്ടിലെയർ കോമ്പോസിറ്റ് ഫിലിമുകളും നിക്ഷേപിച്ച് തയ്യാറാക്കാം. അതിനാൽ, ഈ കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ ഒന്നിലധികം ആപ്ലിക്കേഷനുകളുള്ള ഒരു കോമ്പോസിറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്.