Кои се процесите на машината за вакуумско премачкување? Кој е принципот на работа?

Навакуумско обложувањеМашинскиот процес е поделен на: премаз со вакуумско испарување, премаз со вакуумско распрскување и вакуумско јонско премаз.

1, вакуумски испарувачки слој

Под вакуумски услови, материјалот испарува, како што е метал, метална легура итн., потоа се нанесува на површината на подлогата. Методот на обложување со испарување често користи отпорно греење, а потоа бомбардирање со електронски зрак на материјалот за обложување, го испарува во гасна фаза, а потоа се нанесува на површината на подлогата. Историски гледано, вакуумското таложење со пареа е претходната технологија што се користи во PVD методот.

2, распрскувачко обложување

Гасот е подложен на сјајно празнење под услови на вакуум исполнет со (Ar). Во овој момент, атомите на аргон (Ar) се разградуваат во азотни јони (Ar). Јоните се забрзуваат под силата на електричното поле и ја бомбардираат катодната цел која е направена од материјалот за обложување, целта ќе се распрсне и ќе се таложи на површината на подлогата. Упадните јони во распрскувачкиот слој, генерално добиени со сјајно празнење, се во опсег од 10-2pa до 10Pa. Така, распрсканите честички лесно се судираат со молекулите на гасот во вакуумската комора кога летаат кон подлогата, правејќи ја насоката на движење случајна, а таложената фолија лесно униформна.

3, јонски слој

Под вакуумски услови, под вакуумски услови, се користи одредена техника на плазма јонизација за делумно јонизирање на атомите на материјалот за обложување во јони. Во исто време се создаваат многу високоенергетски неутрални атоми, кои се негативно пристрасни на подлогата. На овој начин, јоните се таложат на површината на подлогата под длабоко негативно пристрасност за да формираат тенок филм.