Ka taea e nga taputapu whakakikorua hiato o te pupuhi magnetron me te paninga katote maha-arc cathodic te mahi wehe me te wa kotahi; ka taea te whakatakoto me te whakarite i te kiriata whakarewa parakore, te kiriata pūhui whakarewa, te kiriata hiato ranei; ka taea he paparanga kotahi o te kiriata me te kiriata hiato-papa maha.
Ko ona painga e whai ake nei:
Kaore i te whakakotahi noa i nga painga o nga momo paninga katote me te whai whakaaro ki te whakarite me te tuunga o te kiriata angiangi mo nga momo waahanga tono, engari ka taea hoki te whakatakoto me te whakarite i nga kiriata monolithic maha-papanga, i nga kiriata hiato-maha ranei i roto i te ruma paninga korehau kotahi i te wa kotahi.
Ko nga tono o nga paparanga kiriata kua tukuna e whakamahia whanuitia ana ona hangarau i roto i nga momo momo, ko nga mea e whai ake nei:
(1) Te pūhui o te kore-equilibrium magnetron sputtering me te hangarau whakakikorua katote cathodic.
Ko tana taputapu e whakaatuhia ana e whai ake nei. He taputapu whakakikoruatanga o te whainga magnetron pourangi me te paninga katote arc cathodic planar, he pai mo nga taputapu e rua te paninga taputapu kiriata pūhui me te paninga kiriata whakapaipai. Mo te paninga taputapu, ka whakamahia te paninga katote arc cathodic i te tuatahi mo te paninga paparanga turanga, katahi ka whakamahia te taumata magnetron pou mo te tuunga o te nitride me etahi atu paparanga kiriata ki te whiwhi i te kiriata mata taputapu tukatuka teitei.
Mo te paninga whakapaipai, ka taea te whakatakoto i nga kiriata whakapaipai TiN me ZrN ma te paninga pewa cathodic i te tuatahi, katahi ka doped ki te whakarewa ma te whakamahi i nga whaainga magnetron, a he tino pai te paanga doping.
(2) Ko te pūhui o te magnetron rererangi mahanga me nga tikanga whakakikorua katote arc cathode. Ka whakaatuhia te taputapu e whai ake nei. Kei te whakamahia te reira i te matatau hangarau mahanga ūnga, ka hono rua ngā taha-i-taha mahanga ki te supply mana auau reo, te reira e kore anake hinga i te paihana ūnga o DC sputtering, ahi me etahi atu drawbacks; a ka taea te whakatakoto i te Al203, SiO2 oxide kounga kiriata, kia nui ake ai, kia pai ake ai te aukati o te waikura o nga waahanga whakakikorua. Columnar maha-arc ūnga tāuta i roto i te pokapū o te ruma korehau, ka taea te whakamahi i te rauemi ūnga Ti me Zr, e kore anake ki te mau tonu nga painga o tiketike maha-arc reiti dissociation, auau waipara, engari ano hoki e taea te whakaiti tōtika "tete" i roto i te tukanga o te iti rererangi maha-arc ūnga waipara, ka taea te whakatakoto me te whakarite i te porosity iti o kiriata whakarewa, pūhui. Mena ka whakamahia a Al me Si hei taonga mo nga whaainga magnetron mahere mahanga kua whakauruhia ki te taha taha, ka taea te whakatakoto me te whakarite i nga kiriata whakarewa-uku a Al203, Si0 ranei. I tua atu, he maha nga rererangi iti o te puna whakaetonga maha-arc ka taea te whakauru ki te taha, a ko ona taonga ko Cr, Ni ranei, ka taea te whakatakoto me te whakarite i nga kiriata whakarewa me nga kiriata hiato maha. Na reira, ko tenei hangarau whakakikorua hiato he hangarau whakakikorua hiato me nga tono maha.
Wā tuku: Noema-08-2022