Magnetrona izsmidzināšanas un katodiskā daudzloka jonu pārklājuma kompozītmateriālu pārklāšanas iekārtas var darboties atsevišķi un vienlaicīgi; var uzklāt un sagatavot tīru metāla plēvi, metāla savienojuma plēvi vai kompozītmateriālu plēvi; var būt viena slāņa plēve un daudzslāņu kompozītmateriālu plēve.
Tās priekšrocības ir šādas:
Tas ne tikai apvieno dažādu jonu pārklājumu priekšrocības un ņem vērā plānas plēves sagatavošanu un nogulsnēšanu dažādām pielietojuma jomām, bet arī ļauj vienlaikus nogulsnēt un sagatavot daudzslāņu monolītas plēves vai daudzslāņu kompozītplēves vienā un tajā pašā vakuuma pārklāšanas kamerā.
Nogulsnēto plēvju slāņu pielietojums tiek plaši izmantots, un to tehnoloģijas ir dažādās formās, tipiskākās ir šādas:
(1) Nevienlīdzīgas magnetrona izsmidzināšanas un katodiskās jonu pārklāšanas tehnoloģijas savienojums.
Tās ierīce ir parādīta šādi. Tā ir kolonnveida magnetrona mērķa un plaknes katodiskā loka jonu pārklājuma saliktā pārklāšanas iekārta, kas ir piemērota gan instrumentu pārklāšanas saliktās plēves, gan dekoratīvās plēves pārklāšanai. Instrumentu pārklāšanai katodiskais loka jonu pārklājums vispirms tiek izmantots pamatslāņa pārklāšanai, un pēc tam kolonnveida magnetrona mērķis tiek izmantots nitrīda un citu plēves slāņu uzklāšanai, lai iegūtu augstas precizitātes apstrādes instrumenta virsmas plēvi.
Dekoratīvam pārklājumam TiN un ZrN dekoratīvās plēves vispirms var uzklāt ar katodisko loka pārklājumu un pēc tam, izmantojot magnetrona mērķus, leģēt ar metālu, un leģēšanas efekts ir ļoti labs.
(2) Divu plakņu magnetrona un kolonnu katoda loka jonu pārklāšanas metožu savienojums. Ierīce ir parādīta šādi. Tajā tiek izmantota uzlabota divu mērķu tehnoloģija, kad divi blakus esoši divu mērķu savienojumi ir savienoti ar vidējas frekvences barošanas avotu, tas ne tikai novērš mērķa saindēšanos ar līdzstrāvas izsmidzināšanu, ugunsgrēku un citiem trūkumiem, bet arī var uzklāt Al203, SiO2 oksīda kvalitātes plēvi, tādējādi palielinot un uzlabojot pārklāto detaļu oksidēšanās izturību. Kolonveida daudzloku mērķis, kas uzstādīts vakuuma kameras centrā, var tikt izmantots kā mērķa materiāls Ti un Zr, ne tikai saglabājot augsta daudzloku disociācijas ātruma un uzklāšanas ātruma priekšrocības, bet arī efektīvi samazinot "pilienus" mazo plakņu daudzloku mērķa uzklāšanas procesā, var uzklāt un sagatavot metāla plēves un saliktas plēves ar zemu porainību. Ja Al un Si tiek izmantoti kā mērķa materiāli divu plakņu magnetrona mērķiem, kas uzstādīti perifērijā, var uzklāt un sagatavot Al203 vai Si0 metālkeramikas plēves. Turklāt perifērijā var uzstādīt vairākas mazas daudzloku iztvaikošanas avota plaknes, un tā mērķa materiāls var būt Cr vai Ni, un var nogulsnēt un sagatavot metāla plēves un daudzslāņu kompozītplēves. Tādēļ šī kompozītmateriālu pārklāšanas tehnoloģija ir kompozītmateriālu pārklāšanas tehnoloģija ar vairākiem pielietojumiem.
Publicēšanas laiks: 2022. gada 8. novembris