Magnetroninio dulkinimo ir katodinio daugialankio jonų dengimo įranga gali veikti atskirai ir vienu metu; gali būti nusodinama ir paruošiama gryno metalo plėvelė, metalo junginio plėvelė arba kompozicinė plėvelė; gali būti vieno sluoksnio plėvelė ir daugiasluoksnė kompozicinė plėvelė.
Jo privalumai yra tokie:
Jis ne tik sujungia įvairių joninių dangų privalumus ir atsižvelgia į plonų plėvelių paruošimą ir nusodinimą įvairioms taikymo sritims, bet ir leidžia vienu metu nusodinti ir paruošti daugiasluoksnes monolitines plėveles arba daugiasluoksnes kompozicines plėveles toje pačioje vakuuminio dengimo kameroje.
Nusodintų plėvelių sluoksnių taikymas yra plačiai taikomas, jų technologijos yra įvairios, tipinės yra šios:
(1) Nesubalansuoto magnetroninio dulkinimo ir katodinio jonų dengimo technologijos junginys.
Jo įrenginys parodytas toliau. Tai stulpelinio magnetroninio taikinio ir plokštuminio katodinio lanko jonų dengimo įranga, tinkanti tiek įrankių dengimui, tiek dekoratyvinei plėvelei dengti. Įrankių dengimui katodinis lanko jonų sluoksnis pirmiausia naudojamas kaip pagrindo sluoksnis, o tada stulpelinis magnetroninis taikinys naudojamas nitridų ir kitų plėvelės sluoksnių nusodinimui, kad būtų gauta didelio tikslumo apdirbimo įrankio paviršiaus plėvelė.
Dekoratyvinei dangai TiN ir ZrN dekoratyvinės plėvelės pirmiausia gali būti nusodinamos katodiniu lankiniu padengimu, o po to legiruojamos metalu naudojant magnetroninius taikinius, o legiravimo efektas yra labai geras.
(2) Dviejų plokštumų magnetrono ir stulpelinio katodo lanko jonų dengimo technologijų derinys. Įrenginys parodytas toliau. Jame naudojama pažangi dviejų taikinių technologija, kai du greta esantys dvigubi taikiniai yra prijungti prie vidutinio dažnio maitinimo šaltinio. Tai ne tik pašalina taikinio apsinuodijimą nuolatinės srovės dulkėjimu, gaisru ir kitais trūkumais, bet ir gali nusodinti Al203, SiO2 oksido kokybės plėvelę, todėl padidėja ir pagerėja padengtų detalių atsparumas oksidacijai. Vakuuminės kameros centre sumontuotas stulpelinis daugialankis taikinys, o taikinio medžiaga gali būti Ti ir Zr, ne tik išlaikant didelį daugialankio disociacijos greitį ir nusodinimo greitį, bet ir efektyviai sumažinant „lašelių“ susidarymą mažų plokštumų daugialankio taikinio nusodinimo procese, galima nusodinti ir paruošti mažo poringumo metalines plėveles, sudėtines plėveles. Jei dvigubų plokštumų magnetroninių taikinių, sumontuotų periferijoje, taikinio medžiagos yra Al ir Si, galima nusodinti ir paruošti Al203 arba Si0 metalo-keramikos plėveles. Be to, periferijoje galima įrengti kelias mažas daugialankio garinimo šaltinio plokštumas, o jų tikslinė medžiaga gali būti Cr arba Ni, taip pat galima nusodinti ir paruošti metalines plėveles ir daugiasluoksnes kompozicines plėveles. Todėl ši kompozicinių dangų technologija yra daugiafunkcinė kompozicinių dangų technologija.
Įrašo laikas: 2022 m. lapkričio 8 d.