Kompositbeschichtungsausrüstung fir Magnetronsputtering a kathodesch Multi-Arc-Ionenbeschichtung kann separat a gläichzäiteg funktionéieren; kann reng Metallfilm, Metallverbindungsfilm oder Kompositfilm ofgesat a virbereet ginn; kann eng eenzeg Schicht Film an e Méischicht-Kompositfilm sinn.
Seng Virdeeler sinn wéi follegt:
Et kombinéiert net nëmmen d'Virdeeler vu verschiddenen Ionenbeschichtungen a berücksichtegt d'Virbereedung an d'Virbereedung vun Dënnschichten fir verschidden Uwendungsberäicher, mä erlaabt och d'Ofsetzung an d'Virbereedung vu méischichtege monolithesche Filmer oder méischichtege Kompositfilmer an der selwechter Vakuumbeschichtungskammer gläichzäiteg.
D'Uwendunge vun ofgesate Filmschichten gi wäit verbreet benotzt, hir Technologien kommen a verschiddene Formen, déi typesch sinn wéi follegt:
(1) D'Verbindung aus net-gläichgewiichtsmagnetronsputtering an der kathodescher Ionenplatéierungstechnologie.
Säin Apparat gëtt wéi follegt gewisen. Et ass eng Verbindungsbeschichtungsausrüstung fir eng säulenförmig Magnetron-Zil an eng planar kathodesch Bou-Ionen-Beschichtung, déi souwuel fir d'Beschichtung vu Verbindungsfilmer wéi och fir d'Beschichtung vu dekorativen Filmer gëeegent ass. Fir d'Beschichtung vu Wierker gëtt d'kathodesch Bou-Ionen-Beschichtung als éischt fir d'Basisschichtbeschichtung benotzt, an dann gëtt d'Säulenmagnetron-Zil fir d'Oflagerung vun Nitrid an aner Filmschichten benotzt, fir e präzise Veraarbechtungsfilm fir d'Uewerfläch vun engem Wierker ze kréien.
Fir dekorativ Beschichtunge kënnen dekorativ TiN- a ZrN-Filmer als éischt duerch kathodesch Boubeschichtung ofgesat ginn, an dann mat Metall mat Magnetronziler dotiéiert ginn, an den Dotierungseffekt ass ganz gutt.
(2) D'Kombinatioun vun Duebelplanmagnetron- a Kolonnekathodebogen-Ionenbeschichtungstechniken. Den Apparat gëtt wéi follegt gewisen. Et benotzt déi fortgeschratt Duebeltarget-Technologie, wann zwou niewentenee Duebeltargeten un d'Mëttelfrequenz-Stroumversuergung ugeschloss sinn, iwwerwënnt et net nëmmen d'Zilvergëftung duerch DC-Sputtering, Feier an aner Nodeeler; a kann Al203, SiO2 Oxidqualitéitsfilmer ofsetzen, sou datt d'Oxidatiounsbeständegkeet vun den beschichteten Deeler eropgeet a verbessert gëtt. E säulenförmigt Multibogen-Target ass an der Mëtt vun der Vakuumkammer installéiert, als Zilmaterial kënnen Ti an Zr benotzt ginn, fir net nëmmen d'Virdeeler vun der héijer Multibogen-Dissoziatiounsquote an der Oflagerungsquote z'erhalen, mee kann och effektiv "Trëpsen" am Prozess vun der Oflagerung vu klenge Plane Multibogen-Targeten reduzéieren, fir Metallfilmer a Kompositfilmer mat gerénger Porositéit ofzesetzen a virzebereeden. Wann Al a Si als Zilmaterialien fir déi duebelplanar Duebelplanmagnetron-Targeten, déi um Peripherie installéiert sinn, benotzt ginn, kënnen Al203 oder Si0 Metall-Keramikfilmer ofgesat a virbereet ginn. Zousätzlech kënnen e puer kleng Flächen vun der Multi-Arc-Verdampfungsquell um Peripherie installéiert ginn, an hiert Zilmaterial kann Cr oder Ni sinn, a Metallfilmer a Méischicht-Kompositfilmer kënnen ofgesat a virbereet ginn. Dofir ass dës Kompositbeschichtungstechnologie eng Kompositbeschichtungstechnologie mat ville Uwendungen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 08. November 2022