Магнетрондук чачыратуу жана катоддук көп жаа иондук каптоо композиттик каптоо жабдуулары өзүнчө жана бир убакта иштей алат; таза металл пленка, металл кошулма пленка же курама пленка депонирленген жана даярдалышы мүмкүн; пленканын бир катмары жана көп катмарлуу курама пленка болушу мүмкүн.
Анын артыкчылыктары төмөнкүдөй:
Ал ар кандай иондук каптоолордун артыкчылыктарын айкалыштырбастан жана колдонуунун ар кандай тармактары үчүн жука пленканы даярдоону жана коюуну эске алуу менен чектелбестен, бир эле вакуумдук каптоо камерасында көп катмарлуу монолиттүү пленкаларды же көп катмарлуу композиттик пленкаларды коюуга жана даярдоого мүмкүндүк берет.
Депозиттик пленка катмарларын колдонууда анын технологиялары ар кандай формада кеңири колдонулат, типтүүлөрү төмөнкүдөй:
(1) тең салмактуу эмес магнетрондук чачыратуу жана катоддук ион менен каптоо технологиясы кошулмасы.
Анын аппараты төмөнкүдөй көрсөтүлөт. Бул колонналуу магнетрондук максаттуу жана тегиздик катоддук иондук каптоодон турган курама каптоо жабдыгы, ал куралды каптоочу курама пленканы жана кооздук пленканы жабууга ылайыктуу. Куралды жабуу үчүн, катоддук жаа иондук каптоо биринчи кезекте негизги катмардын каптоосу үчүн колдонулат, андан кийин мамычанын магнетрондук бутасы жогорку тактыктагы кайра иштетүүчү куралдын беттик пленкасын алуу үчүн нитрид жана башка пленка катмарларын жайгаштыруу үчүн колдонулат.
Декоративдүү каптоо үчүн TiN жана ZrN декоративдик пленкаларын адегенде катоддук жаа менен каптоого болот, андан кийин магнетрондук буталарды колдонуу менен металл менен аралаштырса болот жана допинг эффектиси абдан жакшы.
(2) кош тегиздик магнетрон жана мамычалык катоддук иондук каптоо ыкмаларынын кошулмасы. Аппарат төмөнкүдөй көрсөтүлөт. Бул өнүккөн эгиз максаттуу технология колдонулат, эки жанаша эгиз максаттары орто жыштык электр менен камсыз кылуу менен байланышкан, ал гана эмес, DC sputtering, өрт жана башка кемчиликтери максаттуу ууланууну жеңет; жана Al203, SiO2 оксидинин сапаттуу пленкасын салышы мүмкүн, ошондуктан капталган бөлүктөрдүн кычкылдануу каршылыгы көбөйүп, жакшырды. Вакуум камерасынын борборуна орнотулган тилкелүү көп жаа бутасы, максаттуу материал Ti жана Zr колдонулушу мүмкүн, бул көп жаа диссоциациясынын жогорку ылдамдыгынын артыкчылыктарын сактап калуу үчүн гана эмес, ошондой эле кичинекей тегиздик көп жаа максаттуу чөкүү процессинде "тамчыларды" эффективдүү азайта алат, металл пленкаларынын, кошулма пленкаларынын аз көзөнөктүүлүгүн сактоого жана даярдай алат. Эгерде Al жана Si периферияда орнотулган эгиз тегиз магнетрондук буталар үчүн максаттуу материалдар катары колдонулса, Al203 же Si0 металл-керамикалык пленкаларды коюуга жана даярдоого болот. Мындан тышкары, көп жаа буулануу булагынын бир нече кичинекей учактары четине орнотулушу мүмкүн, анын максаттуу материалы Cr же Ni болушу мүмкүн, ал эми металл пленкалар жана көп катмарлуу курама пленкалар түшүрүлүп, даярдалышы мүмкүн. Ошондуктан, бул курама каптоо технологиясы бир нече колдонмолор менен курама каптоо технологиясы болуп саналат.
Посттун убактысы: 2022-жылдын 08-ноябры