התזה מגנטרונית וטכנולוגיית מרוכבים של ציפוי יונים רב-קשתי קתודי

ציוד ציפוי מרוכב של התזה מגנטרונית וציפוי יונים קתודי רב-קשתי יכול לעבוד בנפרד ובו זמנית; ניתן להפקיד ולהכין סרט מתכת טהור, סרט מתכת מורכב או סרט מרוכב; יכול להיות שכבה אחת של סרט וסרט מרוכב רב שכבתי.

יתרונותיו כדלקמן:
זה לא רק משלב את היתרונות של ציפויי יונים שונים ולוקח בחשבון את ההכנה וההפקדה של שכבה דקה עבור תחומי יישום שונים, אלא גם מאפשר את ההפקדה וההכנה של שכבות מונוליטיות רב-שכבתיות או שכבות מרוכבות רב-שכבתיות באותו תא ציפוי ואקום בו זמנית.
היישומים של שכבות סרט מופקדות נמצאים בשימוש נרחב והטכנולוגיות שלהן מגיעות במגוון צורות, האופייניות להן כדלקמן:
(1) התרכובת של התזה מגנטרונית לא-שיווי משקל וטכנולוגיית ציפוי יונים קתודית.
המכשיר שלו מוצג כדלקמן. זהו ציוד ציפוי מורכב של מטרת מגנטרון עמודית וציפוי יוני קשת קתודי מישורי, המתאים הן לציפוי כלים מורכב והן לציפוי סרט דקורטיבי. לציפוי כלים, ציפוי יוני קשת קתודי משמש תחילה לציפוי שכבת הבסיס, ולאחר מכן מטרת מגנטרון עמודה משמשת לשקיעת ניטריד ושכבות סרט אחרות כדי לקבל סרט פני שטח של כלי עיבוד מדויק.
עבור ציפוי דקורטיבי, ניתן להפקיד תחילה סרטים דקורטיביים של TiN ו-ZrN באמצעות ציפוי קשת קתודי, ולאחר מכן לסומם במתכת באמצעות מטרות מגנטרון, ואפקט הסימום טוב מאוד.

(2) שילוב של טכניקות ציפוי יוני מגנטרון כפול-מישוריים וקשת קתודה בעמודה. המכשיר מוצג כדלקמן. הוא משתמש בטכנולוגיית מטרה כפולה מתקדמת, כאשר שתי מטרות כפולות זו לצד זו מחוברות לספק כוח בתדר בינוני, לא רק מתגברות על הרעלת המטרה כתוצאה מהתזה של DC, שריפה וחסרונות אחרים; ויכולות גם להצטבר בסרט תחמוצת Al203 ו-SiO2, כך שעמידות החמצון של החלקים המצופים עולה ומשתפרת. מטרה רב-קשתית עמודית המותקנת במרכז תא הוואקום, חומר המטרה יכול להיות Ti ו-Zr, לא רק כדי לשמור על היתרונות של קצב דיסוציאציה רב-קשתית גבוה וקצב שיקוע, אלא גם יכול להפחית ביעילות "טיפות" בתהליך שיקוע מטרה רב-קשתית במישורים קטנים, יכול להצטבר ולהכין סרטי מתכת וסרטים מורכבים בעלי נקבוביות נמוכה. אם משתמשים ב-Al ו-Si כחומרי מטרה עבור מטרות מגנטרון כפולות מישוריות המותקנות בפריפריה, ניתן להצטבר ולהכין סרטי מתכת-קרמיים Al203 או Si0. בנוסף, ניתן להתקין מספר מישורים קטנים של מקור אידוי רב-קשת בפריפריה, וחומר המטרה שלו יכול להיות Cr או Ni, וניתן להפקיד ולהכין סרטי מתכת וסרטים מרוכבים רב-שכבתיים. לכן, טכנולוגיית ציפוי מרוכב זו היא טכנולוגיית ציפוי מרוכב עם יישומים מרובים.