Samsett húðunarbúnaður fyrir magnetron sputtering og kaþóðíska fjölboga jónahúðun getur unnið sérstaklega og samtímis; getur verið settur á og útbúinn með hreinni málmfilmu, málmblönduðum filmu eða samsettri filmu; getur verið eitt lag af filmu og marglaga samsettri filmu.
Kostir þess eru sem hér segir:
Það sameinar ekki aðeins kosti ýmissa jónahúðana og tekur mið af undirbúningi og útfellingu þunnfilma fyrir ýmis notkunarsvið, heldur gerir það einnig kleift að setja út og undirbúa fjöllaga einlitafilmu eða fjöllaga samsetta filmu í sama lofttæmishúðunarklefanum í einu.
Notkun á filmulögnum er mikið notuð og tækni þeirra er í ýmsum myndum, dæmigerðar sem hér segir:
(1) Efnasambandið úr jafnvægissegulspúttunartækni og kaþóðjónahúðunartækni.
Tækið er sýnt á eftirfarandi hátt. Þetta er búnaður til að húða súlulaga segulmarkmið og flata kaþóðíska jónahúðun, sem hentar bæði fyrir verkfærahúðun með samsettri filmu og skreytingarfilmuhúðun. Fyrir verkfærahúðun er kaþóðíska jónahúðunin fyrst notuð til að húða grunnlagið og síðan er súlulaga segulmarkmiðið notað til að setja nítríð og önnur filmulög á til að fá nákvæma yfirborðsfilmu fyrir verkfæri.
Til skreytingarhúðunar er hægt að setja TiN og ZrN skreytingarfilmur fyrst með kaþóðbogahúðun og síðan blanda þeim við málm með segulmagnaðir skotmörkum, og áhrifin eru mjög góð.
(2) Samsetning tvíflatar segulmagnaðra skotmarka og súlulaga katóðubogajónahúðunartækni. Tækið er sýnt á eftirfarandi hátt. Það notar háþróaða tvíflatartækni, þegar tvö tvíflatar skotmörk eru tengd hlið við hlið við miðlungs tíðni aflgjafa, sigrast það ekki aðeins á eitrun skotmarksins af völdum jafnstraumsspúttunar, eldsvoða og annarra galla; og getur sett Al203, SiO2 oxíðfilmu á gæði, sem eykur og batnar oxunarþol húðaðra hluta. Súlulaga fjölboga skotmark er sett upp í miðju lofttæmishólfsins, og skotmarksefnið er hægt að nota Ti og Zr, ekki aðeins til að viðhalda kostum mikils fjölboga sundrunarhraða og útfellingarhraða, heldur getur það einnig dregið úr „dropum“ í ferlinu við útfellingu lítilla fjölboga skotmarka, getur sett og búið til lágt gegndræpi málmfilma og samsettar filmur. Ef Al og Si eru notuð sem skotmarksefni fyrir tvíflatar segulmagnaða skotmörkin sem sett eru upp á jaðrinum, er hægt að setja Al203 eða Si0 málm-keramik filmur á og búa til. Að auki er hægt að setja upp margar litlar flötur af fjölboga uppgufunargjafa við jaðarinn, og markefnið getur verið Cr eða Ni, og hægt er að setja á og útbúa málmfilmur og marglaga samsettar filmur. Þess vegna er þessi samsetta húðunartækni samsett húðunartækni með margvíslegum notkunarmöguleikum.
Birtingartími: 8. nóvember 2022