Մագնետրոնային փոշիացման և կաթոդային բազմաաղեղային իոնային ծածկույթի կոմպոզիտային տեխնոլոգիա

Մագնետրոնային փոշիացման և կաթոդային բազմաաղեղային իոնային ծածկույթի կոմպոզիտային ծածկույթների սարքավորումները կարող են աշխատել առանձին և միաժամանակ։ Կարող են նստեցվել և պատրաստվել մաքուր մետաղական թաղանթ, մետաղական միացությունների թաղանթ կամ կոմպոզիտային թաղանթ։ Կարող են լինել թաղանթի միաշերտ և բազմաշերտ կոմպոզիտային թաղանթ։

Դրա առավելությունները հետևյալն են՝
Այն ոչ միայն համատեղում է տարբեր իոնային ծածկույթների առավելությունները և հաշվի է առնում բարակ թաղանթի պատրաստումն ու նստեցումը տարբեր կիրառման ոլորտների համար, այլև թույլ է տալիս միաժամանակ նստեցնել և պատրաստել բազմաշերտ մոնոլիտ թաղանթներ կամ բազմաշերտ կոմպոզիտային թաղանթներ նույն վակուումային ծածկույթի խցիկում։
Նստեցված թաղանթային շերտերի կիրառությունները լայնորեն կիրառվում են, դրանց տեխնոլոգիաները բազմազան ձևերով են, որոնցից ամենատարածվածներն են՝
(1) Ոչ հավասարակշռված մագնետրոնային փոշիացման և կաթոդային իոնային ծածկույթացման տեխնոլոգիայի միացությունը։
Դրա սարքը ներկայացված է հետևյալ կերպ։ Այն սյունաձև մագնետրոնային թիրախի և հարթ կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթի բարդ ծածկույթի սարքավորում է, որը հարմար է ինչպես գործիքային բարդ թաղանթի, այնպես էլ դեկորատիվ թաղանթի ծածկույթի համար։ Գործիքային ծածկույթի համար կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթը նախ օգտագործվում է հիմնական շերտի ծածկույթի համար, ապա սյունաձև մագնետրոնային թիրախը օգտագործվում է նիտրիդի և այլ թաղանթային շերտերի նստեցման համար՝ բարձր ճշգրտությամբ մշակման գործիքային մակերեսային թաղանթ ստանալու համար։
Դեկորատիվ ծածկույթի համար TiN և ZrN դեկորատիվ թաղանթները կարող են նախ նստեցվել կաթոդային աղեղային ծածկույթով, ապա լեգիրվել մետաղով՝ մագնետրոնային թիրախների միջոցով, և լեգիրման ազդեցությունը շատ լավ է։

(2) Երկվորյակ հարթության մագնետրոնային և սյունակային կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթի տեխնիկայի միացություն։ Սարքը ներկայացված է ստորև։ Այն օգտագործում է առաջադեմ երկվորյակ թիրախի տեխնոլոգիա, երբ երկու կողք կողքի երկվորյակ թիրախներ միացված են միջին հաճախականության սնուցման աղբյուրին, այն ոչ միայն հաղթահարում է թիրախի թունավորումը մշտական ​​հոսանքի փոշիացմամբ, հրդեհով և այլ թերություններով, և կարող է նստեցնել Al203, SiO2 օքսիդային որակի թաղանթ, որպեսզի պատված մասերի օքսիդացման դիմադրությունը մեծանա և բարելավվի։ Վակուումային խցիկի կենտրոնում տեղադրված սյունակային բազմաաղեղային թիրախում թիրախային նյութը կարող է օգտագործվել Ti և Zr, ոչ միայն պահպանելու բարձր բազմաաղեղային դիսոցիացիայի արագության և նստեցման արագության առավելությունները, այլև կարող է արդյունավետորեն նվազեցնել «կաթիլները» փոքր հարթության բազմաաղեղային թիրախի նստեցման գործընթացում, կարող է նստեցնել և պատրաստել մետաղական թաղանթների ցածր ծակոտկենություն, բարդ թաղանթներ։ Եթե Al-ը և Si-ը օգտագործվեն որպես թիրախային նյութեր ծայրամասում տեղադրված երկվորյակ հարթ մագնետրոնային թիրախների համար, կարող են նստեցվել և պատրաստվել Al203 կամ Si0 մետաղ-կերամիկական թաղանթներ։ Բացի այդ, ծայրամասում կարող են տեղադրվել բազմաաղեղային գոլորշիացման աղբյուրի մի քանի փոքր հարթություններ, և դրա թիրախային նյութը կարող է լինել Cr կամ Ni, և կարող են նստեցվել և պատրաստվել մետաղական թաղանթներ և բազմաշերտ կոմպոզիտային թաղանթներ: Հետևաբար, այս կոմպոզիտային ծածկույթի տեխնոլոգիան կոմպոզիտային ծածկույթի տեխնոլոգիա է՝ բազմաթիվ կիրառություններով: