Ekipman kouch konpoze pou pulverizasyon mayetron ak kouch iyon milti-ark katodik ka travay separeman ak an menm tan; yo ka depoze ak prepare fim metal pi, fim konpoze metal oswa fim konpoze; yo ka yon sèl kouch fim ak yon fim konpoze milti-kouch.
Avantaj li yo jan sa a:
Li pa sèlman konbine avantaj divès kouch iyon yo epi li pran an kont preparasyon ak depo fim mens pou divès domèn aplikasyon, men tou li pèmèt depo ak preparasyon fim monolitik milti-kouch oswa fim konpoze milti-kouch nan menm chanm kouch vakyòm nan yon sèl fwa.
Aplikasyon kouch fim depoze yo lajman itilize, teknoloji li yo vini nan plizyè fòm, men sa ki tipik yo se:
(1) Konpoze ki fèt ak teknoloji pulverizasyon mayetron ki pa an ekilib ak plakaj iyon katodik.
Aparèy li a montre jan sa a. Li se yon ekipman kouch konpoze ki fèt ak yon sib mayetron kolòn ak yon kouch iyon katodik planè, ki apwopriye pou tou de fim konpoze kouch zouti ak kouch fim dekoratif. Pou kouch zouti, kouch iyon katodik la itilize an premye pou kouch baz la, epi answit sib mayetron kolòn lan itilize pou depoze nitrid ak lòt kouch fim pou jwenn yon fim sifas zouti ki gen gwo presizyon.
Pou kouch dekoratif, fim dekoratif TiN ak ZrN yo ka depoze pa kouch arc katodik an premye, epi answit dope ak metal lè l sèvi avèk sib mayetron, epi efè dopaj la trè bon.
(2) Konpoze mayetron plan doub ak teknik kouch iyon ak katod kolòn. Aparèy la montre jan sa a. Li itilize teknoloji sib doub avanse a, lè de sib doub kòt a kòt konekte ak yon ekipman pou pouvwa frekans mwayen, li pa sèlman simonte anpwazònman sib akòz pulverizasyon DC, dife ak lòt dezavantaj; epi li ka depoze fim kalite oksid Al203, SiO2, sa ki ogmante ak amelyore rezistans oksidasyon pati ki kouvri yo. Sib milti-ark kolòn enstale nan sant chanm vakyòm lan, materyèl sib la ka itilize Ti ak Zr, non sèlman pou kenbe avantaj to disosyasyon milti-ark ki wo, to depo, men tou, li ka efektivman diminye "gout" nan pwosesis depo sib milti-ark ti plan, li ka depoze epi prepare fim metal ki gen yon porosit ki ba, fim konpoze. Si yo itilize Al ak Si kòm materyèl sib pou sib mayetron plan doub ki enstale nan periferi a, yo ka depoze epi prepare fim metal-seramik Al203 oswa Si0. Anplis de sa, plizyè ti plan sous evaporasyon milti-ark ka enstale nan periferi a, epi materyèl sib li yo ka Cr oswa Ni, epi fim metal ak fim konpoze miltikouch ka depoze epi prepare. Se poutèt sa, teknoloji kouch konpoze sa a se yon teknoloji kouch konpoze ki gen plizyè aplikasyon.
Dat piblikasyon: 8 novanm 2022