Oprema za kompozitne premaze magnetronskim raspršivanjem i katodnim višelučnim ionskim premazom može raditi odvojeno i istovremeno; može se nanositi i pripremati čisti metalni film, metalni spojni film ili kompozitni film; može biti jednoslojni film i višeslojni kompozitni film.
Njegove prednosti su sljedeće:
Ne samo da kombinira prednosti različitih ionskih premaza i uzima u obzir pripremu i taloženje tankog filma za različita područja primjene, već omogućuje i taloženje i pripremu višeslojnih monolitnih filmova ili višeslojnih kompozitnih filmova u istoj vakuumskoj komori za premazivanje istovremeno.
Primjena deponiranih filmskih slojeva je široko rasprostranjena, a tehnologije dolaze u raznim oblicima, a tipični su sljedeći:
(1) Spoj neravnotežnog magnetronskog raspršivanja i tehnologije katodnog ionskog prevlačenja.
Njegov uređaj je prikazan u nastavku. Riječ je o opremi za složeno premazivanje stupčastom magnetronskom metom i planarnim katodnim lukom ionskim premazivanjem, koja je prikladna i za premazivanje alata složenim filmom i za premazivanje dekorativnim filmom. Za premazivanje alata, katodni luk ionskim premazivanjem se prvo nanosi osnovni sloj, a zatim se stupčasta magnetronska meta koristi za taloženje nitrida i drugih slojeva filma kako bi se dobio visokoprecizni film površine alata za obradu.
Za dekorativni premaz, dekorativni filmovi TiN i ZrN mogu se prvo nanositi katodnim lukom, a zatim dopirati metalom pomoću magnetronskih meta, a učinak dopiranja je vrlo dobar.
(2) Tehnike nanošenja iona dvostrukim ravninskim magnetronom i stupčastom katodnom lukom. Uređaj je prikazan u nastavku. Koristi naprednu tehnologiju dvostrukih meta, kada su dvije dvostruke mete jedna pored druge povezane na izvor napajanja srednje frekvencije, ne samo da se prevladava trovanje mete istosmjernim raspršivanjem, paljenjem i drugim nedostacima; već se može nanijeti i film kvalitete oksida Al203, SiO2, tako da se otpornost na oksidaciju premazanih dijelova povećava i poboljšava. Stupčasta višelučna meta postavljena u središte vakuumske komore, materijal mete može biti Ti i Zr, ne samo da se zadrže prednosti visoke brzine disocijacije više lukova i brzine nanošenja, već se također mogu učinkovito smanjiti "kapljice" u procesu nanošenja mete s malom ravninom više lukova, što omogućuje nanošenje i pripremu metalnih filmova niske poroznosti, složenih filmova. Ako se Al i Si koriste kao materijali mete za dvostruke planarne magnetronske mete postavljene na periferiji, mogu se nanijeti i pripremiti metalno-keramički filmovi Al203 ili Si0. Osim toga, na periferiji se može postaviti više malih ravnina višelučnog izvora isparavanja, a njegov ciljni materijal može biti Cr ili Ni, te se mogu taložiti i pripremiti metalni filmovi i višeslojni kompozitni filmovi. Stoga je ova tehnologija kompozitnog premaza tehnologija kompozitnog premaza s višestrukim primjenama.
Vrijeme objave: 08.11.2022.