Faodaidh uidheam còmhdach co-dhèanta de sputtering magnetron agus còmhdach ian ioma-arc cathodic obrachadh air leth agus aig an aon àm; faodar film meatailt fìor-ghlan, film co-dhèanta meatailt no film co-dhèanta a thasgadh agus ullachadh; faodaidh e a bhith na aon shreath de fhilm agus na fhilm co-dhèanta ioma-fhilleadh.
Na buannachdan aige mar a leanas:
Chan e a-mhàin gu bheil e a’ cothlamadh buannachdan diofar chòtaichean ian agus a’ toirt aire do ullachadh agus tasgadh fhilmichean tana airson diofar raointean tagraidh, ach leigidh e cuideachd le tasgadh agus ullachadh fhilmichean monolithach ioma-fhilleadh no filmichean co-dhèanta ioma-fhilleadh san aon seòmar còmhdach falamh aig an aon àm.
Tha sreathan film tasgaidh air an cleachdadh gu farsaing agus tha na teicneòlasan aca ann an grunn chruthan, is iad sin na cruthan àbhaisteach:
(1) An co-thàthadh de sputtering magnetron neo-chothromach agus teicneòlas plating ian cathodic.
Tha an inneal aige air a shealltainn mar a leanas. 'S e uidheam còmhdach co-thàthaichte a th' ann de thargaid magnetron colbhach agus còmhdach ian arc cathodic planar, a tha freagarrach airson film co-thàthaichte còmhdach innealan agus còmhdach film sgeadachaidh. Airson còmhdach innealan, thathas a’ cleachdadh an còmhdach ian arc cathodic an toiseach airson còmhdach an t-sreath bunaiteach, agus an uairsin thathas a’ cleachdadh an targaid magnetron colbh airson tasgadh nitride agus sreathan film eile gus film uachdar inneil giullachd àrd-chruinneas fhaighinn.
Airson còmhdach sgeadachaidh, faodar filmichean sgeadachaidh TiN agus ZrN a thasgadh le còmhdach stuagh cathodic an toiseach, agus an uairsin a dhopadh le meatailt a’ cleachdadh targaidean magnetron, agus tha a’ bhuaidh dopaidh glè mhath.
(2) Measgachadh de dhòighean còmhdach ian arc catod colbh magnetron dà-phlèana agus colbh. Tha an inneal air a shealltainn mar a leanas. Tha e a’ cleachdadh an teicneòlais adhartach targaid dhùbailte, nuair a bhios dà thargaid dhùbailte taobh ri taobh ceangailte ris an t-solar cumhachd tricead meadhanach, chan e a-mhàin gu bheil e a’ faighinn thairis air puinnseanachadh targaid sputtering DC, teine agus eas-bhuannachdan eile; agus faodaidh e film càileachd ocsaid Al203, SiO2 a thasgadh, gus am bi an aghaidh ocsaididh anns na pàirtean còmhdaichte air a mheudachadh agus air a leasachadh. Targaid ioma-arc colbhach air a chuir a-steach ann am meadhan an t-seòmair falamh, faodar Ti agus Zr a chleachdadh mar an stuth targaid, chan ann a-mhàin gus buannachdan ìre dealachaidh ioma-arc àrd, ìre tasgaidh a chumail suas, ach faodaidh e cuideachd “boinneagan” a lughdachadh gu h-èifeachdach ann am pròiseas tasgadh targaid ioma-arc plèana beag, faodaidh e filmichean meatailt le porosity ìosal a thasgadh agus ullachadh, filmichean measgaichte. Ma thèid Al agus Si a chleachdadh mar na stuthan targaid airson na targaidean magnetron dà-phlèana a tha air an stàladh air an iomall, faodar filmichean meatailt-ceirmeach Al203 no Si0 a thasgadh agus ullachadh. A bharrachd air sin, faodar iomadh plèana beag de thùs falmhachaidh ioma-bhogha a stàladh aig an iomall, agus faodaidh an stuth targaid aige a bhith Cr no Ni, agus faodar filmichean meatailt agus filmichean co-dhèanta ioma-fhilleadh a thasgadh agus ullachadh. Mar sin, tha an teicneòlas còmhdach co-dhèanta seo na theicneòlas còmhdach co-dhèanta le iomadh tagradh.
Àm puist: 8 dhen t-Samhain 2022