Is féidir le trealamh sciath ilchodach spútaradh maighnéadróin agus sciath ian il-stua catóideach oibriú ar leithligh agus ag an am céanna; is féidir scannán miotail íon, scannán cumaisc miotail nó scannán ilchodach a thaisceadh agus a ullmhú; is féidir é a bheith ina scannán aonair agus ina scannán ilchodach ilchiseal.
A buntáistí mar seo a leanas:
Ní hamháin go gcomhcheanglaíonn sé buntáistí sciatháin ian éagsúla agus go gcuireann sé san áireamh ullmhú agus taisceadh scannán tanaí le haghaidh réimsí éagsúla feidhmchláir, ach ceadaíonn sé freisin taisceadh agus ullmhú scannán monailiteach ilchiseal nó scannán ilchodach ilchiseal sa seomra sciath folúis céanna ag an am céanna.
Úsáidtear sraitheanna scannáin thaiscthe go forleathan agus tá a dteicneolaíochtaí i réimse foirmeacha, agus is iad seo a leanas na cinn tipiciúla:
(1) An comhdhúil de spútaradh maighnéadrón neamhchothromaíochta agus teicneolaíocht plátála ian catóideach.
Taispeántar a fheiste mar seo a leanas. Is trealamh sciath cumaisc é de sprioc maighnéadróin cholúnach agus sciath ian stua catóideach plánach, atá oiriúnach do scannán cumaisc sciath uirlisí agus sciath scannáin mhaisithe araon. Chun sciath uirlisí a dhéanamh, úsáidtear an sciath ian stua catóideach ar dtús le haghaidh sciath an chiseal bonn, agus ansin úsáidtear an sprioc maighnéadróin cholúnach le haghaidh taisceadh níotráide agus sraitheanna scannáin eile chun scannán dromchla uirlisí próiseála ardchruinneas a fháil.
I gcás sciath mhaisithe, is féidir scannáin mhaisithe TiN agus ZrN a thaisceadh le sciath stua catóideach ar dtús, agus ansin miotal a chur orthu ag baint úsáide as spriocanna maighnéadróin, agus tá an éifeacht dópála an-mhaith.
(2) Cumaisc de mhaighnéadrán cúpla-phlána agus teicnící sciath ian stua catóide colúin. Taispeántar an gléas mar seo a leanas. Úsáidtear an teicneolaíocht spriocdhírithe cúpla chun cinn ann, nuair a nasctar dhá spriocdhírithe taobh le taobh leis an soláthar cumhachta meánmhinicíochta, ní hamháin go sáraíonn sé nimhiú sprice de bharr spútaradh DC, tine agus míbhuntáistí eile; agus is féidir leis scannán cáilíochta ocsaíd Al203, SiO2 a thaisceadh, ionas go méadaítear agus go bhfeabhsaítear friotaíocht ocsaídiúcháin na gcodanna brataithe. Sprioc il-stua colúnach suiteáilte i lár an tseomra folúis, is féidir Ti agus Zr a úsáid mar ábhar sprice, ní hamháin chun buntáistí an ráta díscaoilte il-stua ard agus an ráta taiscthe a choinneáil, ach is féidir leis freisin "braoiníní" a laghdú go héifeachtach i bpróiseas taiscthe sprice il-stua beagphlána, is féidir scannáin miotail íseal-thruaillithe agus scannáin chumaisc a thaisceadh agus a ullmhú. Má úsáidtear Al agus Si mar ábhair sprice do na spriocanna maighnéadráin cúpla-phlánacha atá suiteáilte ar an imeall, is féidir scannáin miotail-cheirmeacha Al203 nó Si0 a thaisceadh agus a ullmhú. Ina theannta sin, is féidir roinnt eitleán beag de fhoinse galúcháin il-stua a shuiteáil ar an imeall, agus is féidir a ábhar sprice a bheith Cr nó Ni, agus is féidir scannáin miotail agus scannáin ilchodacha ilchisealacha a thaisceadh agus a ullmhú. Dá bhrí sin, is teicneolaíocht sciath ilchodach í an teicneolaíocht sciath ilchodach seo a bhfuil ilfheidhmeachtaí aici.
Am an phoist: 08 Samhain 2022