Gearstalde coatingapparatuer fan magnetronsputtering en kathodyske multi-bôge-ioncoating kin apart en tagelyk wurkje; kin suvere metaalfilm, metaalferbiningfilm of gearstalde film ôfset en taret wurde; kin in inkele laach film en in mearlaachse gearstalde film wêze.
Syn foardielen as folget:
It kombinearret net allinich de foardielen fan ferskate ioncoatings en hâldt rekken mei de tarieding en ôfsetting fan tinne film foar ferskate tapassingsfjilden, mar makket ek de ôfsetting en tarieding fan mearlaachse monolityske films of mearlaachse kompositfilms tagelyk yn deselde fakuümcoatingkeamer mooglik.
De tapassingen fan ôfsette filmlagen wurde breed brûkt, de technologyen binne yn ferskate foarmen, de typyske binne as folget:
(1) De gearstalling fan net-lykwichtsmagnetronsputtering en kathodyske ionplatingtechnology.
It apparaat wurdt as folget werjûn. It is in gearstalde coating-apparatuer foar kolomfoarmige magnetrondoelen en planêre kathodyske bôge-ionencoating, dy't geskikt is foar sawol arkcoating as dekorative filmcoating. Foar arkcoating wurdt de kathodyske bôge-ionencoating earst brûkt foar de basislaachcoating, en dan wurdt it kolommagnetrondoel brûkt foar de ôfsetting fan nitride en oare filmlagen om in ark-oerflakfilm mei hege presyzje te krijen.
Foar dekorative coating kinne dekorative TiN- en ZrN-films earst troch kathodyske bôgecoating ôfset wurde, en dan dopeare wurde mei metaal mei magnetrontargets, en it dopingeffekt is tige goed.
(2) De gearstalling fan dûbele flakmagnetron en kolomkatodebôge-ioncoatingtechniken. It apparaat wurdt as folget werjûn. It brûkt de avansearre dûbele doeltechnology, as twa neist-inoar dûbele doelen keppele binne oan 'e middelfrekwinsje-stroomfoarsjenning, oerwint it net allinich de doelfergiftiging fan DC-sputtering, fjoer en oare neidielen; en kin Al203, SiO2 oksidekwaliteitfilm ôfsette, sadat de oksidaasjebestriding fan 'e bedekte ûnderdielen ferhege en ferbettere is. Kolonfoarmige multi-bôge doelen ynstalleare yn it sintrum fan 'e fakuümkeamer, it doelmateriaal kin Ti en Zr brûkt wurde, net allinich om de foardielen fan hege multi-bôge dissosiaasjesnelheid, ôfsettingssnelheid te behâlden, mar kinne ek effektyf "drippen" ferminderje yn it proses fan lytse flak multi-bôge doelôfsetting, kinne in lege porositeit fan metaalfilms, gearstalde films ôfsette en tariede. As Al en Si brûkt wurde as de doelmaterialen foar de dûbele planêre magnetrondoelen ynstalleare oan 'e periferie, kinne Al203 of Si0 metaal-keramyske films ôfset en tariede wurde. Derneist kinne meardere lytse flakjes fan in mearfâldige bôgeferdampingsboarne oan 'e periferie ynstalleare wurde, en it doelmateriaal kin Cr of Ni wêze, en metaalfilms en mearlaachse kompositfilms kinne ôfset en taret wurde. Dêrom is dizze kompositcoatingtechnology in kompositcoatingtechnology mei meardere tapassingen.
Pleatsingstiid: 8 novimber 2022