Magnetronisputteroinnin ja katodisen monikaari-ionipinnoituksen komposiittipinnoituslaitteet voivat toimia erikseen ja samanaikaisesti; niillä voidaan kerrostaa ja valmistaa puhdasta metallikalvoa, metalliyhdistekalvoa tai komposiittikalvoa; ne voivat olla yksikerroksisia kalvoja ja monikerroksisia komposiittikalvoja.
Sen edut ovat seuraavat:
Se ei ainoastaan yhdistä erilaisten ionipinnoitteiden etuja ja ota huomioon ohutkalvon valmistuksen ja kerrostuksen eri käyttöalueille, vaan mahdollistaa myös monikerroksisten monoliittisten kalvojen tai monikerroksisten komposiittikalvojen kerrostamisen ja valmistuksen samassa tyhjiöpinnoituskammiossa samanaikaisesti.
Kalvopinnoitteiden sovelluksia käytetään laajalti, ja sen teknologiat ovat monissa eri muodoissa, tyypillisiä ovat seuraavat:
(1) Yhdiste epätasapainoisesta magnetronisputteroinnista ja katodisesta ionipinnoitustekniikasta.
Sen laite on esitetty seuraavasti. Se on pylväsmäisen magnetronimaalin ja tasomaisen katodisen kaari-ionipinnoituksen yhdistelmäpinnoituslaitteisto, joka soveltuu sekä työkalujen yhdistelmäkalvojen että koristekalvojen pinnoittamiseen. Työkalupinnoituksessa katodista kaari-ionipinnoitusta käytetään ensin pohjakerroksen pinnoittamiseen, ja sitten pylväsmäistä magnetronimaalin avulla nitridi- ja muut kalvokerrokset kerrostetaan erittäin tarkan työstötyökalun pintakalvon aikaansaamiseksi.
Koristepinnoitteeksi TiN- ja ZrN-koristekalvot voidaan ensin kerrostaa katodisella kaaripinnoitteella ja sitten seosttaa metallilla magnetronimaaleilla, jolloin dopingvaikutus on erittäin hyvä.
(2) Kaksoistasomagnetroni- ja pylväskatodi-ionipinnoitustekniikoiden yhdistelmä. Laite on esitetty seuraavasti. Siinä käytetään edistynyttä kaksoiskohdetekniikkaa, jossa kaksi vierekkäistä kaksoiskohdetta kytketään keskitaajuusvirtalähteeseen. Tämä paitsi poistaa DC-sputteroinnin, tulipalon ja muiden kohteiden aiheuttamat haitat, myös voi kerrostaa Al203- ja SiO2-oksidilaatuisen kalvon, mikä parantaa päällystettyjen osien hapettumiskestävyyttä. Tyhjiökammion keskelle asennettu pylväsmainen monikaarikohde voi sisältää titaania ja zirkoniumia, mikä paitsi säilyttää korkean monikaaridissosiaationopeuden ja kerrostumisnopeuden edut, myös vähentää tehokkaasti "pisaroiden" muodostumista pienten tasomagneettisten monikaarikohdepinnoitusten prosessissa. Se voi kerrostaa ja valmistaa metallikalvoja, joilla on alhainen huokoisuus. Jos alumiinia ja piitä käytetään kohdemateriaaleina kaksoistasomagnetronikohteille, jotka on asennettu reunoille, voidaan kerrostaa ja valmistaa Al203- tai Si0-metallikeraamikalvoja. Lisäksi reunalle voidaan asentaa useita pieniä monikaarihöyrystyslähteen tasoja, joiden kohdemateriaali voi olla Cr tai Ni, ja niille voidaan kerrostaa ja valmistaa metallikalvoja ja monikerroksisia komposiittikalvoja. Siksi tämä komposiittipinnoitustekniikka on monikäyttöinen komposiittipinnoitustekniikka.
Julkaisun aika: 8.11.2022