Gall offer cotio cyfansawdd ar gyfer chwistrellu magnetron a chotio ïon aml-arc cathodig weithio ar wahân ac ar yr un pryd; gellir dyddodi a pharatoi ffilm fetel pur, ffilm gyfansawdd metel neu ffilm gyfansawdd; gall fod yn ffilm un haen a ffilm gyfansawdd aml-haen.
Ei fanteision fel a ganlyn:
Nid yn unig y mae'n cyfuno manteision amrywiol haenau ïon ac yn ystyried paratoi a dyddodi ffilm denau ar gyfer amrywiol feysydd cymhwysiad, ond mae hefyd yn caniatáu dyddodi a pharatoi ffilmiau monolithig aml-haen neu ffilmiau cyfansawdd aml-haen yn yr un siambr cotio gwactod ar yr un pryd.
Defnyddir haenau ffilm wedi'u dyddodi'n helaeth ac mae ei dechnolegau mewn amrywiaeth o ffurfiau, y rhai nodweddiadol fel a ganlyn:
(1) Y cyfansoddyn o chwistrellu magnetron anghydbwysedd a thechnoleg platio ïonau cathodig.
Dangosir ei ddyfais fel a ganlyn. Mae'n offer cotio cyfansawdd o darged magnetron colofnog a gorchudd ïon arc cathodig planar, sy'n addas ar gyfer cotio offer ffilm gyfansawdd a gorchudd ffilm addurniadol. Ar gyfer cotio offer, defnyddir y gorchudd ïon arc cathodig yn gyntaf ar gyfer y gorchudd haen sylfaen, ac yna defnyddir y targed magnetron colofn ar gyfer dyddodiad nitrid a haenau ffilm eraill i gael ffilm arwyneb offer prosesu manwl iawn.
Ar gyfer cotio addurniadol, gellir dyddodi ffilmiau addurniadol TiN a ZrN trwy orchuddio arc cathodig yn gyntaf, ac yna eu dopio â metel gan ddefnyddio targedau magnetron, ac mae'r effaith dopio yn dda iawn.
(2) Cyfansoddyn y technegau cotio ïonau arc catod colofn a magnetron plân deuol. Dangosir y ddyfais fel a ganlyn. Mae'n defnyddio'r dechnoleg targed deuol uwch, pan fydd dau darged deuol ochr yn ochr yn gysylltiedig â'r cyflenwad pŵer amledd canolig, nid yn unig y mae'n goresgyn gwenwyno targed ysbeiddio DC, tân ac anfanteision eraill; a gall adneuo ffilm o ansawdd ocsid Al203, SiO2, fel bod ymwrthedd ocsideiddio'r rhannau wedi'u gorchuddio wedi cynyddu a gwella. Targed aml-arc colofnog wedi'i osod yng nghanol y siambr gwactod, gellir defnyddio Ti a Zr fel deunydd targed, nid yn unig i gynnal manteision cyfradd daduniad aml-arc uchel, cyfradd dyddodiad, ond gall hefyd leihau "defnynnau" yn effeithiol yn y broses o ddyddodiad targed aml-arc plân bach, gall adneuo a pharatoi ffilmiau metel mandylledd isel, ffilmiau cyfansawdd. Os defnyddir Al a Si fel y deunyddiau targed ar gyfer y targedau magnetron planar deuol sydd wedi'u gosod ar y cyrion, gellir adneuo a pharatoi ffilmiau metel-serameg Al203 neu Si0. Yn ogystal, gellir gosod sawl awyren fach o ffynhonnell anweddu aml-arc ar yr ymylon, a gall ei ddeunydd targed fod yn Cr neu Ni, a gellir dyddodi a pharatoi ffilmiau metel a ffilmiau cyfansawdd amlhaen. Felly, mae'r dechnoleg cotio cyfansawdd hon yn dechnoleg cotio cyfansawdd gyda chymwysiadau lluosog.
Amser postio: Tach-08-2022