Zařízení pro nanášení kompozitních povlaků magnetronovým naprašováním a katodickým víceobloukovým iontovým povlakováním mohou pracovat samostatně i současně; mohou nanášet a připravovat čistě kovové filmy, kovové sloučeninové filmy nebo kompozitní filmy; mohou být jednovrstvé filmy a vícevrstvé kompozitní filmy.
Jeho výhody jsou následující:
Nejenže kombinuje výhody různých iontových povlaků a zohledňuje přípravu a nanášení tenkých vrstev pro různé oblasti použití, ale také umožňuje nanášení a přípravu vícevrstvých monolitických filmů nebo vícevrstvých kompozitních filmů ve stejné vakuové komoře najednou.
Aplikace nanášených filmových vrstev jsou široce používány a jejich technologie se vyskytují v různých formách, typické jsou následující:
(1) Kombinace nerovnovážného magnetronového naprašování a technologie katodického iontového pokovování.
Jeho zařízení je znázorněno následovně. Jedná se o zařízení pro nanášení složeného povlaku s využitím sloupcového magnetronového terče a planárního katodického obloukového iontového povlaku, které je vhodné jak pro nanášení složeného filmu na nástroje, tak pro nanášení dekorativního filmu. Pro nanášení povlaku na nástroje se nejprve použije katodický obloukový iontový povlak pro základní vrstvu a poté se sloupcový magnetronový terč použije pro nanášení nitridových a dalších filmových vrstev, čímž se získá vysoce přesný povrchový film pro obrábění nástroje.
Pro dekorativní povlaky lze nejprve nanést dekorativní filmy TiN a ZrN katodickým obloukovým povlakem a poté je dopovat kovem pomocí magnetronových terčů, přičemž dopovací účinek je velmi dobrý.
(2) Kombinace technik dvojitého magnetronového obloukového iontového povlakování a sloupcové katody. Zařízení je znázorněno následovně. Používá pokročilou technologii dvojitého terče, kdy dva dvojité terče vedle sebe připojené ke středofrekvenčnímu zdroji napájení nejen překonává otravu terče stejnosměrným naprašováním, oheň a další nevýhody; a umožňuje nanášet film kvality oxidu Al203, SiO2, čímž se zvyšuje a zlepšuje odolnost povlakovaných dílů proti oxidaci. Sloupcový víceobloukový terč instalovaný uprostřed vakuové komory, materiál terče může být Ti a Zr, nejen pro zachování výhod vysoké rychlosti disociace víceobloukového terče a rychlosti nanášení, ale také pro účinné snížení "kapek" v procesu nanášení víceobloukového terče v malých rovinách, což umožňuje nanášet a připravovat kovové filmy s nízkou porézností, složené filmy. Pokud se jako materiály terče pro dvojité planární magnetronové terče instalované na obvodu použijí Al a Si, lze nanášet a připravovat metalokeramické filmy Al203 nebo Si0. Kromě toho lze na obvodu instalovat několik malých rovin víceobloukového odpařovacího zdroje, jehož cílovým materiálem může být Cr nebo Ni, a lze nanášet a připravovat kovové filmy a vícevrstvé kompozitní filmy. Tato technologie kompozitního povlakování je tedy technologií kompozitního povlakování s mnoha aplikacemi.
Čas zveřejnění: 8. listopadu 2022