Oprema za kompozitne premaze magnetronskim raspršivanjem i katodnim višelučnim ionskim premazivanjem može raditi odvojeno i istovremeno; može se nanositi i pripremati čisti metalni film, metalni spojni film ili kompozitni film; može biti jednoslojni film i višeslojni kompozitni film.
Njegove prednosti su sljedeće:
Ne samo da kombinuje prednosti različitih jonskih premaza i uzima u obzir pripremu i nanošenje tankog filma za različita područja primjene, već omogućava i nanošenje i pripremu višeslojnih monolitnih filmova ili višeslojnih kompozitnih filmova u istoj komori za vakuumsko nanošenje premaza istovremeno.
Primjene deponovanih filmskih slojeva su široko korištene, a tehnologije dolaze u različitim oblicima, a tipični su sljedeći:
(1) Spoj neravnotežnog magnetronskog raspršivanja i tehnologije katodnog jonskog nanošenja.
Njegov uređaj je prikazan na sljedeći način. Radi se o opremi za složeno premazivanje pomoću stupčaste magnetronske mete i planarnog katodnog lučnog jonskog premazivanja, koja je pogodna i za premazivanje alata složenim filmom i za premazivanje dekorativnim filmom. Za premazivanje alata, katodni lučni jonski premaz se prvo koristi za osnovni sloj premaza, a zatim se stupčasta magnetronska meta koristi za taloženje nitrida i drugih slojeva filma kako bi se dobio visokoprecizni film na površini alata za obradu.
Za dekorativni premaz, dekorativni filmovi TiN i ZrN mogu se prvo nanositi katodnim lukom, a zatim dopirati metalom pomoću magnetronskih meta, pri čemu je efekat dopiranja vrlo dobar.
(2) Tehnike kombinovanog nanošenja jonskog premaza dvostrukim ravnim magnetronom i kolonskom katodom. Uređaj je prikazan na sljedeći način. Koristi naprednu tehnologiju dvostrukih meta, kada su dvije dvostruke mete jedna pored druge povezane na napajanje srednje frekvencije, ne samo da se prevazilaze nedostaci trovanja mete DC raspršivanjem, paljenjem i drugim faktorima; već se može nanijeti i film kvalitete Al203, SiO2 oksida, čime se povećava i poboljšava otpornost na oksidaciju premazanih dijelova. Kod kolonske višelučne mete postavljene u središte vakuumske komore, materijal mete može biti Ti i Zr, što ne samo da održava prednosti visoke brzine disocijacije i brzine nanošenja višelučnog materijala, već i efikasno smanjuje "kapljice" u procesu nanošenja višelučnog materijala u malim ravnima, te omogućava nanošenje i pripremu metalnih filmova niske poroznosti, složenih filmova. Ako se Al i Si koriste kao materijali mete za dvostruke planarne magnetronske mete postavljene na periferiji, mogu se nanijeti i pripremiti metalno-keramički filmovi Al203 ili Si0. Osim toga, na periferiji se može instalirati više malih ravni višelučnog izvora isparavanja, a ciljni materijal može biti Cr ili Ni, te se mogu nanositi i pripremati metalni filmovi i višeslojni kompozitni filmovi. Stoga je ova tehnologija kompozitnog premaza tehnologija kompozitnog premaza s višestrukim primjenama.
Vrijeme objave: 08.11.2022.