Абсталяванне для нанясення кампазітных пакрыццяў, якое выкарыстоўваецца для магнетроннага распылення і катоднага шматдугавога іённага пакрыцця, можа працаваць асобна і адначасова; можа наносіцца і рыхтавацца чыстая металічная плёнка, металічная злучэннявая плёнка або кампазітная плёнка; можа быць аднаслаёвай і шматслаёвай кампазітнай плёнкай.
Яго перавагі наступныя:
Ён не толькі спалучае перавагі розных іённых пакрыццяў і ўлічвае падрыхтоўку і нанясенне тонкай плёнкі для розных абласцей прымянення, але і дазваляе адначасова наносіць і рыхтаваць шматслаёвыя маналітныя плёнкі або шматслаёвыя кампазітныя плёнкі ў адной вакуумнай камеры для нанясення пакрыццяў.
Прымяненне напыленых плёнкавых слаёў шырока выкарыстоўваецца, яго тэхналогіі маюць розныя формы, тыповыя з якіх наступныя:
(1) Злучэнне нераўнаважнага магнетроннага распылення і тэхналогіі катоднага іённага пакрыцця.
Яго прылада паказана ніжэй. Гэта абсталяванне для нанясення складанага пакрыцця з калоннай магнетроннай мішэні і планарнага катодна-дугавога іённага пакрыцця, якое падыходзіць як для нанясення складанай плёнкі на інструмент, так і для нанясення дэкаратыўнай плёнкі. Для пакрыцця інструмента спачатку выкарыстоўваецца катодна-дугавое іённае пакрыццё для базавага пласта, а затым калонная магнетронная мішэнь выкарыстоўваецца для нанясення нітрыдных і іншых плёнкавых слаёў для атрымання высокадакладнай плёнкі на паверхні інструмента.
Для дэкаратыўнага пакрыцця дэкаратыўныя плёнкі TiN і ZrN спачатку можна наносіць метадам катоднай дугі, а затым легаваць металам з дапамогай магнетронных мішэняў, і эфект легавання вельмі добры.
(2) Тэхналогіі іённага пакрыцця з выкарыстаннем двухплоскаснага магнетрона і калоннага катода з дугавым іённым пакрыццём. Прылада паказана ніжэй. У ёй выкарыстоўваецца перадавая тэхналогія двухмішэнных мішэняў, калі дзве двухмішэнныя мішэні, размешчаныя побач, падлучаныя да крыніцы харчавання сярэдняй частаты, не толькі пераадольваюць праблемы з распыленнем пастаяннага току, узгараннем і іншымі недахопамі, але і дазваляюць наносіць плёнку якасці аксіду Al203 і SiO2, што павышае і паляпшае ўстойлівасць пакрытых дэталяў да акіслення. Калі ў цэнтры вакуумнай камеры ўсталявана калонная шматдугавая мішэнь, у якасці матэрыялу мішэні можна выкарыстоўваць Ti і Zr, што не толькі забяспечвае высокую хуткасць дысацыяцыі і хуткасць нанясення пакрыцця, але і эфектыўна памяншае колькасць "кропель" у працэсе нанясення дробнай плоскаснай шматдугавой мішэні, што дазваляе наносіць і рыхтаваць нізкасітаватыя металічныя плёнкі і складаныя плёнкі. Калі ў якасці матэрыялаў мішэні для двухплоскасных магнетронных мішэняў, размешчаных па перыферыі, выкарыстоўваюцца Al і Si, можна наносіць і рыхтаваць металакерамічныя плёнкі Al203 або Si0. Акрамя таго, на перыферыі можна ўсталяваць некалькі невялікіх плоскасцей шматдугавой крыніцы выпарэння, а мэтавым матэрыялам можа быць Cr або Ni, і можна наносіць і рыхтаваць металічныя плёнкі і шматслаёвыя кампазітныя плёнкі. Такім чынам, гэтая тэхналогія кампазітнага пакрыцця з'яўляецца тэхналогіяй кампазітнага пакрыцця з мноствам ужыванняў.
Час публікацыі: 08 лістапада 2022 г.