يمكن لمعدات الطلاء المركب للرش المغناطيسي والطلاء الأيوني متعدد القوس الكاثودي أن تعمل بشكل منفصل وفي وقت واحد؛ يمكن ترسيب وإعداد فيلم معدني نقي أو فيلم مركب معدني أو فيلم مركب؛ يمكن أن يكون طبقة واحدة من الفيلم وفيلم مركب متعدد الطبقات.
مميزاتها كالتالي:
إنه لا يجمع فقط بين مزايا الطلاءات الأيونية المختلفة ويأخذ في الاعتبار تحضير وترسيب الفيلم الرقيق لمختلف مجالات التطبيق، بل يسمح أيضًا بترسيب وإعداد أفلام أحادية الطبقات متعددة الطبقات أو أفلام مركبة متعددة الطبقات في نفس غرفة الطلاء المفرغة في وقت واحد.
تُستخدم طبقات الفيلم المترسبة على نطاق واسع في تطبيقاتها، وتأتي تقنياتها في مجموعة متنوعة من الأشكال، والأشكال النموذجية هي كما يلي:
(1) مركب من تقنية الرش المغناطيسي غير المتوازن والطلاء الأيوني الكاثودي.
جهازها موضح أدناه. إنها معدات طلاء مركب من هدف مغناطيسي عمودي وطلاء أيوني قوسي كاثودي مستوي، وهي مناسبة لكل من طلاء الأدوات المركب والطلاء الزخرفي. لطلاء الأدوات، يُستخدم طلاء أيوني قوسي كاثودي أولًا لطلاء الطبقة الأساسية، ثم يُستخدم هدف مغناطيسي عمودي لترسيب النتريد وطبقات الفيلم الأخرى للحصول على معالجة عالية الدقة لفيلم سطح الأداة.
بالنسبة للطلاء الزخرفي، يمكن ترسيب أفلام الزخرفة TiN وZrN عن طريق طلاء القوس الكاثودي أولاً، ثم يتم تشويبها بالمعدن باستخدام أهداف المغنطرون، ويكون تأثير التشويب جيدًا جدًا.
(2) مركب من المغنطرون ثنائي المستوى وقوس الكاثود العمودي. يوضح الجهاز ما يلي. يستخدم تقنية الهدف المزدوج المتقدمة، فعند ربط هدفين توأمين متجاورين بمصدر طاقة متوسط التردد، لا يقتصر الأمر على التغلب على مشاكل رش التيار المستمر والحرائق وغيرها من العيوب المتعلقة بالهدف فحسب، بل يمكنه أيضًا ترسيب طبقة أكسيد Al2O3 وSiO2 عالية الجودة، مما يزيد من مقاومة أكسدة الأجزاء المطلية ويحسنها. يُركّب هدف متعدد الأقواس عموديًا في وسط حجرة التفريغ، ويمكن استخدام Ti وZr في مادة الهدف، مما يحافظ على مزايا معدل تفكك الأقواس المتعددة العالي ومعدل الترسيب، كما يقلل بشكل فعال من "القطرات" أثناء عملية ترسيب الهدف متعدد الأقواس صغير المستوى، ويمكنه ترسيب وتحضير أغشية معدنية وأغشية مركبة منخفضة المسامية. إذا استُخدم الألومنيوم والسيليكون كمواد هدف لأهداف المغنطرون المستوية المزدوجة المُثبّتة على المحيط، يُمكن ترسيب وتحضير أغشية معدنية-سيراميكية من الألومنيوم والسيليكون (Al₂O₂) أو السيليكون. بالإضافة إلى ذلك، يُمكن تركيب عدة مستويات صغيرة من مصدر تبخير متعدد الأقواس على المحيط، ويمكن أن تكون المادة المستهدفة من الكروم أو النيكل، كما يُمكن ترسيب وتحضير أغشية معدنية وأغشية مركبة متعددة الطبقات. لذلك، تُعدّ تقنية طلاء المركبات هذه تقنية طلاء مركبات متعددة الاستخدامات.
وقت النشر: ٨ نوفمبر ٢٠٢٢