የማግኔትሮን መትረፍ እና የካቶዲክ ባለብዙ አርክ ion ሽፋን ድብልቅ ቴክኖሎጂ

የማግኔትሮን ስፕቲንግ እና የካቶዲክ ባለብዙ-አርክ ion ሽፋን የተቀናጀ ሽፋን መሳሪያዎች በተናጥል እና በአንድ ጊዜ ሊሠሩ ይችላሉ ። የተጣራ የብረት ፊልም, የብረት ድብልቅ ፊልም ወይም የተቀናጀ ፊልም ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል; ነጠላ ፊልም እና ባለብዙ ንብርብር ድብልቅ ፊልም ሊሆን ይችላል.

የእሱ ጥቅሞች እንደሚከተለው ናቸው-
የተለያዩ የ ion ሽፋኖችን ጥቅሞች በማጣመር እና ለተለያዩ የትግበራ መስኮች ቀጭን ፊልም ማዘጋጀት እና ማስቀመጥን ግምት ውስጥ ያስገባል, ነገር ግን ባለብዙ-ንብርብር ሞኖሊቲክ ፊልሞችን ወይም ባለብዙ-ንብርብር ድብልቅ ፊልሞችን በአንድ ጊዜ በአንድ የቫኩም ሽፋን ክፍል ውስጥ ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ያስችላል.
የተከማቸ የፊልም ንብርብሮች አፕሊኬሽኖች በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላሉ ቴክኖሎጂዎቹ በተለያዩ ቅርጾች , የተለመዱት የሚከተሉት ናቸው.
(1) ሚዛናዊ ያልሆነ ማግኔትሮን ስፒትቲንግ እና የካቶዲክ ion plating ቴክኖሎጂ ውህድ።
መሳሪያው እንደሚከተለው ቀርቧል። ለሁለቱም የመሳሪያ ሽፋን ድብልቅ ፊልም እና ለጌጣጌጥ ፊልም ሽፋን ተስማሚ የሆነ የአምድ ማግኔትሮን ዒላማ እና የፕላን ካቶዲክ አርክ ion ሽፋን ድብልቅ ሽፋን መሳሪያ ነው። ለመሳሪያው ሽፋን, የካቶዲክ አርክ ion ሽፋን በመጀመሪያ ለመሠረት ንብርብር ሽፋን ጥቅም ላይ ይውላል, ከዚያም የዓምድ ማግኔትሮን ዒላማ ለኒትራይድ እና ለሌሎች የፊልም ንጣፎች ከፍተኛ-ትክክለኛነት ማቀነባበሪያ መሳሪያ ወለል ፊልም ለማግኘት ጥቅም ላይ ይውላል.
ለጌጣጌጥ ሽፋን ፣ የቲኤን እና የዜድኤን ጌጣጌጥ ፊልሞች በካቶዲክ አርክ ሽፋን መጀመሪያ ሊቀመጡ ይችላሉ ፣ እና ከዚያም የማግኔትሮን ኢላማዎችን በመጠቀም በብረት ሊቀመጡ ይችላሉ ፣ እና የዶፒንግ ውጤቱ በጣም ጥሩ ነው።

(2) መንትያ አውሮፕላን ማግኔትሮን እና አምድ ካቶድ ቅስት አዮን ሽፋን ዘዴዎች ድብልቅ። መሣሪያው በሚከተለው መልኩ ይታያል. ከመካከለኛው ፍሪኩዌንሲ የኃይል አቅርቦት ጋር የተገናኙ ሁለት ጎን ለጎን መንትያ ኢላማዎች ሲደርሱ የላቀውን መንትያ ዒላማ ቴክኖሎጂ ጥቅም ላይ የሚውለው፣ የዲሲ መትረፍን፣ እሳትን እና ሌሎች ድክመቶችን ኢላማ መመረዝን ማሸነፍ ብቻ ሳይሆን፤ እና Al203, SiO2 ኦክሳይድ ጥራት ያለው ፊልም ማስቀመጥ ይችላል, ስለዚህም የተሸፈኑ ክፍሎች oxidation የመቋቋም ጨምሯል እና ተሻሽሏል. ቫክዩም ቻምበር መሃል ላይ የተጫነ Columnar የብዝሃ-አርክ ዒላማ, ዒላማ ቁሳዊ Ti እና Zr ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል, ብቻ ሳይሆን ከፍተኛ የብዝሃ-አርክ dissociation መጠን, የማስቀመጫ መጠን ያለውን ጥቅም ለመጠበቅ, ነገር ግን ደግሞ ውጤታማ በሆነ አነስተኛ አውሮፕላን የብዝሃ-አርክ ዒላማ ተቀማጭ ሂደት ውስጥ "ጠብታ" ለመቀነስ, የብረት ፊልሞች, ውሁድ ፊልሞች ዝቅተኛ porosity ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይችላሉ. አል እና ሲ በዳርቻው ላይ ለተጫኑት መንታ ፕላን ማግኔትሮን ዒላማዎች እንደ ዒላማ ቁሳቁሶች ከተጠቀሙ፣ Al203 ወይም Si0 የብረት-ሴራሚክ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል። በተጨማሪም በርካታ ትናንሽ አውሮፕላኖች የብዝሃ-አርክ ትነት ምንጭን በዳርቻው ላይ ሊጫኑ ይችላሉ, እና የታለመው ቁሳቁስ Cr ወይም Ni ሊሆን ይችላል, እና የብረት ፊልሞች እና ባለብዙ ንብርብር ድብልቅ ፊልሞችን ማስቀመጥ እና ማዘጋጀት ይቻላል. ስለዚህ, ይህ የተዋሃደ ሽፋን ቴክኖሎጂ ከብዙ አፕሊኬሽኖች ጋር የተዋሃደ የማሸጊያ ቴክኖሎጂ ነው.