Saamgestelde bedekkingstoerusting van magnetronsputtering en katodiese multi-boogioonbedekking kan afsonderlik en gelyktydig werk; kan suiwer metaalfilm, metaalverbindingsfilm of saamgestelde film neergelê en voorberei word; kan 'n enkele laag film en 'n multi-laag saamgestelde film wees.
Die voordele daarvan soos volg:
Dit kombineer nie net die voordele van verskeie ioonbedekkings en neem die voorbereiding en afsetting van dun film vir verskeie toepassingsvelde in ag nie, maar laat ook die afsetting en voorbereiding van multilaag monolitiese films of multilaag saamgestelde films in dieselfde vakuumbedekkingskamer gelyktydig toe.
Die toepassings van neergelegde filmlae word wyd gebruik, en die tegnologieë daarvan kom in 'n verskeidenheid vorme voor, die tipiese vorme is soos volg:
(1) Die verbinding van nie-ewewigsmagnetronverstuiwing en katodiese ioonplateringstegnologie.
Die toestel word soos volg getoon. Dit is 'n saamgestelde bedekkingstoerusting vir kolommagnetronteikens en planêre katodiese boogioonbedekkings, wat geskik is vir beide gereedskapbedekkingssamestellingfilm en dekoratiewe filmbedekkings. Vir gereedskapbedekkings word die katodiese boogioonbedekking eers gebruik vir die basislaagbedekking, en dan word die kolommagnetronteiken gebruik vir die afsetting van nitried en ander filmlae om 'n hoë-presisie verwerkingsgereedskapoppervlakfilm te verkry.
Vir dekoratiewe bedekkings kan TiN- en ZrN-dekoratiewe films eers deur katodiese boogbedekking neergelê word, en dan met metaal gedoteer word met behulp van magnetronteikens, en die doteer-effek is baie goed.
(2) Die samestelling van tweevlakmagnetron en kolomkatodeboogioonbedekkingstegnieke. Die toestel word soos volg getoon. Dit gebruik die gevorderde tweelingteikentegnologie, wanneer twee sy-aan-sy tweelingteikens aan die mediumfrekwensie-kragbron gekoppel word, oorkom dit nie net die teikenvergiftiging van GS-sputtering, vuur en ander nadele nie; en kan Al203, SiO2 oksiedkwaliteitfilms neerlê, sodat die oksidasieweerstand van die bedekte dele verhoog en verbeter word. Kolomvormige multi-boogteikens wat in die middel van die vakuumkamer geïnstalleer is, kan Ti en Zr as teikenmateriaal gebruik word, nie net om die voordele van hoë multi-boog dissosiasietempo en neersettingstempo te handhaaf nie, maar kan ook "druppels" effektief verminder in die proses van klein vlak multi-boogteikenneerslag, kan metaalfilms met lae porositeit neerlê en voorberei, saamgestelde films. As Al en Si as die teikenmateriaal vir die tweevlakmagnetronteikens wat aan die periferie geïnstalleer is, gebruik word, kan Al203 of Si0 metaalkeramiekfilms neergelê en voorberei word. Daarbenewens kan verskeie klein vlakke van 'n multi-boog verdampingsbron aan die periferie geïnstalleer word, en die teikenmateriaal daarvan kan Cr of Ni wees, en metaalfilms en multilaag-saamgestelde films kan neergelê en voorberei word. Daarom is hierdie saamgestelde bedekkingstegnologie 'n saamgestelde bedekkingstegnologie met veelvuldige toepassings.
Plasingstyd: 8 November 2022