Awọnigbale ti a boẹrọ ilana ti pin si: igbale evaporation bo, igbale sputtering bo ati igbale dẹlẹ bo.
1, Igbale evaporation ti a bo
Labẹ ipo igbale, jẹ ki ohun elo naa gbe jade, gẹgẹbi irin, irin alloy, bbl lẹhinna fi wọn sori dada sobusitireti, ọna ti a bo evaporation nigbagbogbo lo alapapo resistance, ati lẹhinna itanna tan ina bombardment ti ohun elo ti a bo, jẹ ki wọn gbe sinu ipele gaasi, lẹhinna idogo lori dada sobusitireti, itan-akọọlẹ, ọna gbigbe PVD igbale ni imọ-ẹrọ iṣaaju ti a lo ninu vacuum.
2.Sputtering bo
Gaasi naa wa labẹ itusilẹ didan labẹ awọn ipo igbale ti o kun (Ar) Ni akoko yii ion argon (Ar) awọn ọta sinu awọn ions nitrogen (Ar), Awọn ions ti wa ni iyara nipasẹ agbara ti aaye ina, ati bombard ibi-afẹde cathode eyiti o jẹ ohun elo ti a bo, ibi-afẹde naa yoo tu jade ati gbe silẹ lori isẹlẹ dada sobusitireti, ti a bo ni gbogbo glow ti awọn ions ti o wa ni ibiti o ti gba ni spu ions. 10-2pa si 10Pa, Nitorinaa awọn patikulu sputtered rọrun lati kọlu pẹlu awọn ohun elo gaasi ni iyẹwu igbale nigbati o ba n fo si ọna sobusitireti, ṣiṣe itọsọna išipopada laileto ati fiimu ti o gbasilẹ rọrun lati jẹ aṣọ.
3, Iyan ti a bo
Labẹ awọn ipo igbale, Labẹ ipo igbale, Ti lo ilana ionisation pilasima kan lati ionise awọn ohun elo ohun elo ti a bo sinu awọn ions ni apakan.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-23-2023