וואָס זענען די פּראָצעסן פון וואַקוום קאָוטינג מאַשין? וואָס איז דער אַרבעט פּרינציפּ?

דיוואַקוום קאָוטינגמאַשין פּראָצעס איז צעטיילט אין: וואַקוום יוואַפּעריישאַן קאָוטינג, וואַקוום ספּאַטערינג קאָוטינג און וואַקוום יאָן קאָוטינג.

1, וואַקוום פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג

אונטער א וואַקוום צושטאַנד, מאַכט מען דעם מאַטעריאַל פארדאַמפּט, אַזאַ ווי מעטאַל, מעטאַל צומיש, אאז"וו, און דערנאָך לייגט מען עס אַוועק אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך. די פארדאַמפּונג קאָוטינג מעטאָדע ניצט אָפט קעגנשטעל-הייצונג, און דערנאָך עלעקטראָן שטראַל באָמבאַרדירט ​​דעם קאָוטינג מאַטעריאַל, מאַכט עס פארדאַמפּט אין אַ גאַז פאַזע, און דערנאָך לייגט מען עס אַוועק אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך. היסטאָריש, וואַקוום פארע דעפּאַזישאַן איז די פריערדיקע טעכנאָלאָגיע געניצט אין דער PVD מעטאָדע.

2, ספּאַטערינג קאָוטינג

דער גאַז ווערט אונטערגעוואָרפן צו אַ גלאָו-אויסלאָדן אונטער (Ar)-געפילטע וואַקוום באַדינגונגען. אין דעם מאָמענט ווערן די אַרגאָן (Ar) אַטאָמען יאָן אין שטיקשטאָף יאָנען (Ar). די יאָנען ווערן באַשנעלערט דורך דער קראַפט פון דעם עלעקטרישן פעלד און באַמבאַרדירן דעם קאַטאָדע ציל, וואָס איז געמאַכט פון דעם קאָוטינג מאַטעריאַל. דער ציל וועט אַרויסגעשפּריצט ווערן און אָפּגעזעצט אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך. די אינצידענטע יאָנען אין דער שפּאַטער קאָוטינג, וואָס ווערן בכלל באַקומען דורך גלאָו-אויסלאָדן, זענען אין די קייט פון 10-2pa ביז 10Pa. אַזוי די געשפּריצטע פּאַרטיקלען קענען גרינג קאָלידירן מיט די גאַז מאָלעקולן אין דער וואַקוום קאַמער ווען זיי פליען צו דעם סאַבסטראַט, מאַכנדיג די באַוועגונג ריכטונג ראַנדאָם און דער אָפּגעזעענער פילם גרינג צו זיין מונדיר.

3, יאָן קאָוטינג

אונטער וואַקוום באַדינגונגען, אונטער וואַקוום באַדינגונג, גענוצט אַ געוויסע פּלאַזמע ייאַניזאַציע טעכניק צו טיילווייז ייאַניזירן די קאָוטינג מאַטעריאַל אַטאָמען אין יאָנען. אין דער זעלביקער צייט ווערן פּראָדוצירט פילע הויך-ענערגיע נייטראַלע אַטאָמען, וואָס זענען נעגאַטיוו בייאַסט אויף די סאַבסטראַט. אויף דעם וועג, ווערן יאָנען דעפּאַזיטירט אויף די סאַבסטראַט ייבערפלאַך אונטער אַ טיף נעגאַטיוו בייאַסט צו שאַפֿן אַ דין פילם.