دیویکیوم کوٹنگمشین کے عمل کو اس میں تقسیم کیا گیا ہے: ویکیوم بخارات کی کوٹنگ، ویکیوم اسپٹرنگ کوٹنگ اور ویکیوم آئن کوٹنگ۔
1، ویکیوم وانپیکرن کوٹنگ
ویکیوم کنڈیشن کے تحت، مواد کو بخارات بنائیں,جیسے دھات، دھاتی مرکب وغیرہ، پھر انہیں سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کریں، بخارات کی کوٹنگ کا طریقہ اکثر مزاحمتی حرارتی نظام کا استعمال ہوتا ہے، اور پھر کوٹنگ کے مواد کی الیکٹران بیم بمباری، انہیں گیس کے مرحلے میں بخارات بناتا ہے، پھر سبسٹریٹ سطح پر جمع کرنا، تاریخی طور پر PVD، PV ڈیپوزٹ ٹیکنالوجی کا استعمال کیا جاتا ہے۔
2، سپٹرنگ کوٹنگ
گیس (Ar) سے بھرے ویکیوم حالات کے تحت چمکتی ہوئی خارج ہوتی ہے، اس وقت آرگن (Ar) ایٹم آئن کو نائٹروجن آئنوں (Ar) میں تبدیل کرتا ہے، آئن برقی میدان کی قوت سے تیز ہوتے ہیں، اور کیتھوڈ ہدف پر بمباری کرتے ہیں جو کوٹنگ میٹریل سے بنا ہوتا ہے، ہدف کو کوٹنگ کی سطح پر پھینک دیا جائے گا، اور اسپٹر کی سطح پر جمع ہو جائے گا۔ عام طور پر گلو ڈسچارج کے ذریعے حاصل کیا جاتا ہے، 10-2pa سے 10Pa کی حد میں ہوتا ہے,لہذا پھٹے ہوئے ذرات سبسٹریٹ کی طرف اڑتے وقت ویکیوم چیمبر میں گیس کے مالیکیولز سے ٹکرانے میں آسان ہوتے ہیں، جس سے حرکت کی سمت بے ترتیب ہو جاتی ہے اور جمع شدہ فلم یکساں ہونا آسان ہو جاتی ہے۔
3، آئن کوٹنگ
ویکیوم کنڈیشنز کے تحت، ویکیوم کنڈیشن کے تحت، کوٹنگ میٹریل ایٹموں کو جزوی طور پر آئنائز کرنے کے لیے پلازما آئنائزیشن کی ایک مخصوص تکنیک کا استعمال کیا جاتا ہے۔ ایک ہی وقت میں بہت سے ہائی انرجی نیوٹرل ایٹم تیار کیے جاتے ہیں، جو سبسٹریٹ پر منفی طور پر متعصب ہوتے ہیں۔ اس طرح، آئنز کو منفی سطح پر ایک گہرائی میں فلم بنانے کے لیے سبسٹریٹ پر جمع کیا جاتا ہے۔
پوسٹ ٹائم: مارچ 23-2023

