.Әр сүзнеңвакуум каплауМашина процессы түбәндәгеләргә бүленә: вакуум парга әйләнү, вакуум спуттеринг каплау һәм вакуум ион каплау.
1 uc Вакуум парга әйләнү
Вакуум шартларында материалны парга әйләндерегез metal металл, металл эретмәсе һ.б., аннары аларны субстрат өслегенә урнаштырыгыз, парга әйләнү ысулы еш каршылык җылытуны куллана, аннары каплау материалын электрон нур белән бомбардировать итә, аларны газ фазасына әйләндерә, аннары субстрат өслегенә куя, тарихи яктан, вакуум парлары чүпләү ПВД ысулында кулланылган.
2 、 Чүпрәле каплау
Газ (Ar) тутырылган вакуум шартларында ялтыравыклы агызуга дучар була Бу мизгелдә аргон (Ar) атом ионы азот ионына (Ар), ионнар электр кыры көче белән тизләнәләр һәм каплау материалыннан ясалган катод максатын бомбардировать итәләр, субстрат өслегендә агып чыгарыла торган индивидуаль ионнар. 10Pa ， Шулай итеп, субстратка очканда вакуум камерасындагы газ молекулалары белән бәрелгән кисәкчәләр җиңел, хәрәкәт юнәлешен очраклы итә һәм урнаштырылган фильм бертөрле була.
3 、 Ион каплау
Вакуум шартларында, вакуум шартларында, каплау материалы атомнарын өлешчә ионлаштыру өчен билгеле бер плазмалы ионлаштыру техникасы кулланылды. Шул ук вакытта күп югары энергияле нейтраль атомнар җитештерелә ， алар субстратка тискәре караш белән карыйлар.
Пост вакыты: 23-2023 март