Дарпӯшонидани вакуумӣраванди мошин ба тақсим мешавад: молидани бухоршавӣ вакуумӣ, молидани пошидани вакуумӣ ва молидани ion вакуумӣ.
1、Пӯшидани бухоршавии вакуумӣ
Дар ҳолати вакуум, маводро бухор кунед, ба монанди металл, хӯлаи металлӣ ва ғайра. Пас онҳоро дар сатҳи оксиген ҷойгир кунед, усули пӯшонидани бухоршавӣ аксар вақт гармкунии муқовиматро истифода мебарад ва сипас бомбгузории чӯби электронии маводи рӯйпӯш, онҳоро ба фазаи газ бухор кунед, сипас дар сатҳи субстрат гузоред, таърихан, усули таҳшинкунии буғи вакуумӣ дар технологияи пештараи PVD истифода мешуд.
2, Сарпӯши пошидан
Газ дар шароити вакууми бо (Ar) пуршуда ба разряди дурахшанда дучор мешавад. Дар айни замон атомҳои аргон (Ar) ба ионҳои нитроген (Ar) мубаддал мешаванд, ионҳо бо қувваи майдони электрикӣ суръат мебахшанд ва ҳадафи катодро, ки аз маводи пӯшиш сохта шудааст, бомбаборон мекунанд, ҳадаф пошида мешавад ва дар рӯи коғази умумӣ ҷойгир карда мешавад. аз разряди дурахшанда, дар ҳудуди 10-2pa то 10Pa ҷойгиранд, Ҳамин тавр, зарраҳои пошида ҳангоми парвоз ба сӯи субстрат ба молекулаҳои газ дар камераи вакуумӣ бархӯрдан осон мешаванд, ки самти ҳаракатро тасодуфӣ ва филми гузошташударо якранг осон мекунад.
3, Пӯшидани ион
Дар шароити вакуум, Дар шароити вакуум, Як усули муайяни ионизатсияи плазма барои қисман ионизатсия кардани атомҳои маводи рӯйпӯш ба ионҳо истифода мешавад. Дар айни замон бисёр атомҳои нейтралии энергияи баланд ба вуҷуд меоянд, ки ба субстрат манфӣ доранд. Ба ин тариқ, ионҳо дар сатҳи оксиген дар зери ғарази манфии амиқ ҷойгир карда мешаванд, то филми амиқи манфиро ба вуҷуд оранд.
Вақти фиристодан: 23 март-2023